Измерительная схема дифференциального датчика перемещения для системы позиционирования сканирующего зондового микроскопа

Содержание

Слайд 2

Цель работы Разработка макета и исследование точностных и динамических свойств емкостного

Цель работы

Разработка макета и исследование точностных и динамических свойств емкостного датчика

перемещения для системы позиционирования СЗМ.
Слайд 3

Актуальность работы Зондовые сканирующие микроскопы являются основным инструментом исследования физико-механических свойств

Актуальность работы

Зондовые сканирующие микроскопы являются основным инструментом исследования физико-механических свойств поверхности

наноструктурированных материалов. Емкостные датчики перемещения являются составной необходимой частью систем позиционирования современных зондовых сканирующих микроскопов.
Слайд 4

Схема включения дифференциального емкостного датчика перемещений

Схема включения дифференциального емкостного датчика перемещений

Слайд 5

Принципиальная электрическая схема

Принципиальная электрическая схема

Слайд 6

Разработка печатной платы

Разработка печатной платы

Слайд 7

Вид печатной платы в 3D

Вид печатной платы в 3D

Слайд 8

Характеристики печатной платы Материал печатной платы: текстолит; Толщина печатной платы: 1.5

Характеристики печатной платы

Материал печатной платы: текстолит;
Толщина печатной платы: 1.5 мм;
Площадь печатной

платы: 0.258 кв.дм;
Количество слоев: двусторонняя;
Паяльная маска: зеленая паяльная маска;
Толщина дорожек: 1мм;
Переходные отверстия открыты от паяльной маски: да.
Слайд 9

Вид изготовленной печатной платы Печатная плата Макет

Вид изготовленной печатной платы

Печатная плата

Макет

Слайд 10

Экспериментальное исследование верхней границы динамического диапазона Сигнал генератора и сигнал ОС при равных С

Экспериментальное исследование верхней границы динамического диапазона

Сигнал генератора и сигнал ОС при равных

С
Слайд 11

Экспериментальное исследование динамического диапазона (продолжение) Сигнал генератора и сигнал ОС при

Экспериментальное исследование динамического диапазона (продолжение)

Сигнал генератора и сигнал ОС при

Сигнал

генератора и сигнал ОС
при
Слайд 12

Экспериментальное исследование быстродействия измерительной схемы. Переходная характеристика

Экспериментальное исследование быстродействия измерительной схемы.

Переходная характеристика

Слайд 13

Экспериментальное исследование уровня шумов в схеме. Выходной сигнал АЦП

Экспериментальное исследование уровня шумов в схеме.

Выходной сигнал АЦП

Слайд 14

Основные результаты дипломного проектирования. Разработана принципиальная схема емкостного датчика перемещения; произведено

Основные результаты дипломного проектирования.

Разработана принципиальная схема емкостного датчика перемещения;
произведено электронное моделирование

схемы в программе Altium Designer;
разработана и изготовлена печатная плата;
изготовлен макет измерительной схемы емкостного датчика;
произведена отладка макета измерительной схемы;
произведены экспериментальные исследования макета: исследованы динамические и точностные свойства макета;
получены осциллограммы работы макета в каждой точке;
оценено быстродействие схемы, динамический диапазон и шумы в выходном сигнале.
Слайд 15

Выводы Экспериментально исследованы верхняя и нижняя границы динамического диапазона. По результатам

Выводы

Экспериментально исследованы верхняя и нижняя границы динамического диапазона. По результатам эксперимента

верхняя граница ограничена перегрузкой в схеме, нижняя ограничена шумами схемы.
Экспериментально исследовано быстродействие измерительной схемы. По результатам эксперимента минимальное время установления переходного процесса измерительной схемы составило 2мс.
Экспериментально исследован шум в выходном сигнале макета. Он составляет единицу младшего разряда АЦП, что соответствует 60мкВ.