Лекция 4. Моделирование технологических процессов. Диффузия

Сентябрь 15, 2022

Главная
Физика
Лекция 4. Моделирование технологических процессов. Диффузия

Содержание

2. Вопросы к экзамену Кластеры и преципитаты. Особенности диффузии бора. Особенности диффузии донорных примесей. Совместная диффузия примесей.
3. Кластеры и преципитаты При высоких концентрациях примеси ее атомы могут образовывать преципитаты и кластеры. Преципитация происходит
4. Процесс кластеризации Кластеризованная примесь электрически не активна, поэтому общее количество примеси разделяется на 2 части: электрически
5. Диффузия бора Основной вклад в диффузию бора вносят 2 типа пар бор – междоузлие. Это пары,
6. Матрица возможных состояний в системе бор – междоузлия
7. Кластеризация бора Кластеризация бора протекает по уравнениям двух типов: с присоединением междоузлия с присоединением междоузельного бора:
8. Энергия связи кластеров бора различного типа
9. Наиболее устойчивые кластеры бора Обладают наибольшей энергией связи и наиболее устойчивы кластеры B3I. В первую тройку,
10. Диффузия мышьяка Преобладающий механизм диффузии – вакансионный. Основной вклад в диффузию мышьяка вносят 2 типа пар
11. При высоких концентрациях имеет место кластеризация мышьяка. Наиболее распространенная модель предполагает, что мышьяк образует кластеры по
12. NОБЩ = NА + NКЛ = NА + 3MКЛ, MКЛ – концентрация кластеров. Концентрация свободных носителей
13. Диффузия фосфора В диффузии фосфора участвуют и междоузлия, и вакансии. Основной вклад в диффузию фосфора вносят
14. Понятие Е – центров Е – центр – пара вакансия-примесный атом, которая может быть в различных
15. Совместная диффузия примесей Структура интегральных элементов формируется во многом на основе p-n переходов. Это значит, что
16. Совместная диффузия фосфора и бора Ускорение диффузии бора в присутствии фосфора Проявляется в биполярных транзисторах с
17. Глубина выдавливания собственный коэффициент диффузии бора DB и коэффициент диффузии под эмиттером DnB ; w0 –
18. Совместная диффузия мышьяка и бора При совместной диффузии мышьяка и бора глубина базы под эмиттером уменьшается
19. Совместная диффузия мышьяка и фосфора Современные исследования совместной диффузии проводились в связи с созданием мелкозалегающих исток/стоковых
20. Совместная диффузия мышьяка и фосфора В процессе, разработанным для японского варианта КМДП - технологии уровня 130
21. ВИМС – профили распределения фосфора и мышьяка профили распределения фосфора и мышьяка после имплантации мышьяка (30
22. Поведение фосфора совершенно отличается от поведения бора в присутствии мышьяка. Бор сегрегирует в хвосте распределения мышьяка,
23. Неплохие результаты моделирования рассмотренного аномального эффекта получаются, если предположить, что диффузия в этом случае идет с
24. Особенности моделирования диффузии в поликристаллическом кремнии Поликристаллический кремний рассматривается как набор малых монокристаллических областей, зерен, которые
25. Столбиковая модель зерна в поликристаллическом кремнии L - размер зерна, δ – размер межзеренных областей, H
26. Эффекты, учитываемые при моделировании высокотемпературных процессов в поликристаллическом кремнии рост зерен, приводящий к увеличению fg и
27. Моделирование роста зерен a = 5.43·10-4 мкм – постоянная решетки и NSi = 5·1022 см-3 –
28. Общая концентрация легирующей примеси в поликремниевом слое Nga – концентрация электрически активной примеси внутри зерен, Ngb
29. Граничные и начальные условия в моделировании диффузии Для двумерного приближения (сечение XY, координата x – вдоль
31. Скачать презентацию

Слайд 2

Вопросы к экзамену
Кластеры и преципитаты. Особенности диффузии бора.
Особенности диффузии донорных примесей.

Совместная диффузия примесей.
Моделирование диффузии в поликристаллическом кремнии.
Граничные и начальные условия в моделировании диффузии.

Слайд 3

Кластеры и преципитаты
При высоких концентрациях примеси ее атомы могут образовывать

преципитаты и кластеры.
Преципитация происходит при превышении предела растворимости примеси в твердом теле. Преципитаты являются макроскопическими скоплениями атомов примеси, содержащими до 102 – 103 атомов и имеющими размеры до нескольких десятых микрона.
Кластеры содержат от 2 до 6 атомов, связанных друг с другом и с решеткой. Кластеры формируются до достижения предела растворимости. При объединении кластеры могут становиться центрами преципитации.
Главная роль преципитации и кластеризации заключается в том, что количество электрически активных атомов примеси меньше общего количества внедренных атомов. Эффективный коэффициент диффузии при этом снижается, т.к. только часть примеси является мобильной.

Слайд 4

Процесс кластеризации
Кластеризованная примесь электрически не активна, поэтому общее количество примеси разделяется

на 2 части:
электрически активную NА и кластеризованную Nкл.
Кластеры возникают и распадаются:
∂NА / ∂t = KdNКЛ - KcNА m;
∂NКЛ / ∂t = - KdNКЛ + KcNА m;
где m – размер кластеров, Kc, Kd – скорости кластеризации и распада кластеров.
Вклад процесса кластеризации должен быть учтен при составлении уравнений непрерывности в модели связанной диффузии.

Слайд 5

Диффузия бора
Основной вклад в диффузию бора вносят 2 типа пар бор

– междоузлие.
Это пары, состоящие из замещающего атома бора, т.е. B- и междоузлия, нейтрального I0 или однократно положительно заряженного I+.

При высоких концентрациях бор может образовывать кластеры и преципитаты. Кластеры и преципитаты бор образует совместно с междоузлиями.

Слайд 6

Матрица возможных состояний в системе бор – междоузлия

Слайд 7

Кластеризация бора
Кластеризация бора протекает по уравнениям двух типов:
с присоединением

междоузлия
с присоединением междоузельного бора:
BnIm + I ⬄ BnIm+1;
BnIm + Bi ⬄ Bn+1Im+1;

Слайд 8

Энергия связи кластеров бора различного типа

Слайд 9

Наиболее устойчивые кластеры бора
Обладают наибольшей энергией связи и наиболее устойчивы

кластеры B3I.
В первую тройку, с учетом усреднения по нескольким возможным реакциям образования, входят также кластеры B2I и BI2.
Доминирующими зарядовыми состояниями для данных кластеров являются (B3I)-, (B2I)0 и (BI2)+
Таким образом, с учетом кластеризации основными компонентами процесса диффузии бора являются B-, I0 , I+ , I++

Слайд 10

Диффузия мышьяка
Преобладающий механизм диффузии – вакансионный.
Основной вклад в диффузию

мышьяка вносят 2 типа пар мышьяк - вакансия. Это пары, состоящие из замещающего атома мышьяка, т.е. As+ и вакансии, нейтральной V0 или однократно отрицательно заряженной V-.

Слайд 11

При высоких концентрациях имеет место кластеризация мышьяка.
Наиболее распространенная модель предполагает,

что мышьяк образует кластеры по 3 атома и 1 электрону.
Атомы кластера положительно заряжены при высоких температурах, но при комнатной температуре кластер, в целом, нейтрален.
3As+ + e- ⬄ As3+2 => 300˚K=> As3

Кластеризация мышьяка

Слайд 12

NОБЩ = NА + NКЛ = NА + 3MКЛ,
MКЛ –

концентрация кластеров.
Концентрация свободных носителей при высоких температурах
n = NА + (2/3) NКЛ = NА + 2 МКЛ;
при комнатной температуре
n = NА

Влияние кластеризации на электрические характеристики

Слайд 13

Диффузия фосфора
В диффузии фосфора участвуют и междоузлия, и вакансии. Основной

вклад в диффузию фосфора вносят 3 типа пар.

Это пары, состоящие из замещающего атома фосфора, т.е. P+ и междоузлия, нейтрального I0
или акцепторного, однократно ионизованного I-,
или двукратно ионизованной акцепторной вакансии V=.

Слайд 14

Понятие Е – центров
Е – центр – пара вакансия-примесный атом,

которая может быть в различных зарядовых состояниях: Е0 – нейтральном; Е- - акцепторном; Е+ - донорном

Модель Файера – Цая для диффузии фосфора предполагает участие акцепторных Е- - центров

Уравнение образования акцепторных Е- - центров: Р+ + V= = (PV)-;

DP =

Слайд 15

Совместная диффузия примесей
Структура интегральных элементов формируется во многом на основе

p-n переходов.
Это значит, что в технологическом процессе участвует не одна, а две или более различных примесей.
При совместной диффузии обнаружено влияние примесей друг на друга.
Примесь, диффундирующая с высокой концентрацией, оказывает заметное влияние на примесь с низкой концентрацией, тогда как обратное влияние пренебрежимо мало

Слайд 16

Совместная диффузия фосфора и бора
Ускорение диффузии бора в присутствии фосфора

Проявляется в биполярных транзисторах с фосфорным эмиттером, как dip-эффект - выдавливание базы под эмиттером

Ускорение диффузии связано с диссоциацией E – центров в области низких концентраций и увеличением за счет этого концентрации вакансий, что приводит к увеличению коэффициента диффузии бора

Слайд 17

Глубина выдавливания
собственный коэффициент диффузии бора DB и коэффициент диффузии под эмиттером

DnB ;
w0 – глубина базового слоя,
t – время диффузии эмиттера

Слайд 18

Совместная диффузия мышьяка и бора
При совместной диффузии мышьяка и бора

глубина базы под эмиттером уменьшается

Совместная диффузия бора и мышьяка: 1 – распределение бора в начальный момент;
2 – распределение мышьяка в результате диффузии при 1000 ˚С в течение 25 мин.;
3 – распределение бора после диффузии мышьяка

В области подложки наблюдается горб, вызванный притягиванием бора к области p-n перехода. В результате глубина проникновения бора в подложку и, соответственно, глубина базы немного уменьшается

Слайд 19

Совместная диффузия мышьяка и фосфора
Современные исследования совместной диффузии проводились в связи

с созданием мелкозалегающих исток/стоковых областей n+ - типа.
Традиционно для этих целей используется мышьяк, который имплантируется в подложку с неоднородным распределением бора, возникающим в результате подлегирования канала и формирования т. наз. P – кармана.

Слайд 20

Совместная диффузия мышьяка и фосфора
В процессе, разработанным для японского варианта КМДП

- технологии уровня 130 нм, для создания n+ - областей кроме мышьяка использовалась имплантация фосфора с целью подавления токов утечки, вызванных перераспределением дефектов в результате взаимодействия мышьяка и бора.
В исследовании использовалась исходная подложка, однородно легированная фосфором с концентрацией 2.5х1017см-3. Диффузия фосфора исследовалась после имплантации мышьяка и отжига от 1 до 300 минут при 720˚С по ВИМС – профилям. При этом обнаружилось аномальное поведение фосфора в присутствии мышьяка

Слайд 21

ВИМС – профили распределения фосфора и мышьяка
профили распределения фосфора и мышьяка

после имплантации мышьяка (30 КэВ, 5х1014 см-2) и отжига при 720˚С в течение 1, 30 и 300 мин

Слайд 22

Поведение фосфора совершенно отличается от поведения бора в присутствии мышьяка.
Бор

сегрегирует в хвосте распределения мышьяка, собираясь туда из объема подложки.
Пик фосфора возникает за счет ухода примеси из приповерхностной части подложки. При длительном отжиге в хвосте распределения мышьяка создается обедненная фосфором область.

Слайд 23

Неплохие результаты моделирования рассмотренного аномального эффекта получаются, если предположить, что диффузия

в этом случае идет с участием нейтральных и отрицательно заряженных междоузлий, т.е. диффундируют пары (PI)+ и (PI)0, соответственно. Коэффициент диффузии с учетом весового коэффициента f0 (оптимально при f0 = 0.1) можно записать:

коэффициент диффузии с участием нейтральных междоузлий

коэффициент диффузии с участием отрицательно заряженных междоузлий

собственный коэффициент диффузии фосфора

Слайд 24

Особенности моделирования диффузии в поликристаллическом кремнии
Поликристаллический кремний рассматривается как набор

малых монокристаллических областей, зерен, которые имеют различную кристаллографическую ориентацию, но формируют непрерывный слой.
При моделировании разделяют процессы, которые идут в объеме зерен и на межзеренных границах. Границы зерен рассматриваются как объемные области с фиксированной толщиной δ.
Форма зерна может быть выбрана либо столбиковая, с высотой H, равной толщине поликристаллического слоя, либо кубическая, со стороной L.

Слайд 25

Столбиковая модель зерна в поликристаллическом кремнии
L - размер зерна, δ

– размер межзеренных областей, H - толщина поликристаллического слоя

Доля объема поликристаллической пленки, приходящаяся на монокристаллические области внутри зерен

для столбиковой модели зерна
fg =

для кубической модели зерна
fg =

По коэффициенту fg рассчитывается доля межзеренных областей: fgb = 1 - fg

Слайд 26

Эффекты, учитываемые при моделировании высокотемпературных процессов в поликристаллическом кремнии
рост зерен,

приводящий к увеличению fg и уменьшению fgb
диффузия электрически активной примеси внутри монокристаллических зерен
диффузия электрически неактивной примеси вдоль границ
сегрегация примеси на поверхности зерен

Слайд 27

Моделирование роста зерен
a = 5.43·10-4 мкм – постоянная решетки и NSi

= 5·1022 см-3 – концентрация узлов в решетке кремния;
D – коэффициент самодиффузии кремния, зависящий от температуры по закону Аррениуса; λ – энергия границ зерен

τ–масштабный коэффициент для потока сегрегации примеси, связанного с ростом зерен, c0–эмпирический геометрический фактор

ar – коэффициент, определяющий отношение между объемом граничных областей внутри слоя и на границе раздела с внешней средой и другими материалами.

Для столбиковой модели зерен

Слайд 28

Общая концентрация легирующей примеси в поликремниевом слое

Nga – концентрация электрически

активной примеси внутри зерен,
Ngb – концентрация электрически неактивной примеси в граничных областях

Слайд 29

Граничные и начальные условия в моделировании диффузии
Для двумерного приближения

(сечение XY, координата x – вдоль подложки, координата y – в глубину подложки
Начальное условие: N(x, y, 0) = f(x, y)‏
Граничное условие в глубине подложки:
N(x, ∞, t) = 0;
или N(x, ∞, t) = NB – для примеси, совпадающей с исходной примесью в подложке.
Граничные условия на правой и левой границах (поток примеси через линии симметрии равен нулю)‏
∂N / ∂x = 0 x = xR;
∂N / ∂x = 0 x = xL;

Лекция 4. Моделирование технологических процессов. Диффузия

Содержание

Вопросы к экзаменуКластеры и преципитаты. Особенности диффузии бора.Особенности диффузии донорных примесей.

Кластеры и преципитаты При высоких концентрациях примеси ее атомы могут образовывать

Процесс кластеризацииКластеризованная примесь электрически не активна, поэтому общее количество примеси разделяется

Диффузия бораОсновной вклад в диффузию бора вносят 2 типа пар бор

Матрица возможных состояний в системе бор – междоузлия

Кластеризация бора Кластеризация бора протекает по уравнениям двух типов: с присоединением

Энергия связи кластеров бора различного типа

Наиболее устойчивые кластеры бора Обладают наибольшей энергией связи и наиболее устойчивы

Диффузия мышьяка Преобладающий механизм диффузии – вакансионный. Основной вклад в диффузию

При высоких концентрациях имеет место кластеризация мышьяка. Наиболее распространенная модель предполагает,

NОБЩ = NА + NКЛ = NА + 3MКЛ, MКЛ –

Диффузия фосфора В диффузии фосфора участвуют и междоузлия, и вакансии. Основной

Понятие Е – центров Е – центр – пара вакансия-примесный атом,

Совместная диффузия примесей Структура интегральных элементов формируется во многом на основе

Совместная диффузия фосфора и бора Ускорение диффузии бора в присутствии фосфора

Глубина выдавливаниясобственный коэффициент диффузии бора DB и коэффициент диффузии под эмиттером

Совместная диффузия мышьяка и бора При совместной диффузии мышьяка и бора

Совместная диффузия мышьяка и фосфораСовременные исследования совместной диффузии проводились в связи

Совместная диффузия мышьяка и фосфораВ процессе, разработанным для японского варианта КМДП

ВИМС – профили распределения фосфора и мышьякапрофили распределения фосфора и мышьяка

Поведение фосфора совершенно отличается от поведения бора в присутствии мышьяка. Бор