Содержание
- 2. Деформации и изгиб в пленке и подложке Strain and bending in a film/substrate sandwich Если деформации
- 3. Упругие деформации в пленке и подложке Strain in film and substrate The distribution of normalized strain
- 4. Точность формулы Стони Accuracy of Stoney formula
- 5. Экспериментальное определение кривизны структур Experimental study of curvature Лазерное сканирование поверхности (Laser scanning) Многолучевое оптическое отражение
- 6. Scanning laser method 2θ Используется для in-situ мониторинга деформаций при наращивании пленок, например, при MBE и
- 7. Многослойные структуры Multilayer structures To 1-rst order in the small parameters hi/hs, the total curvature is
- 8. Влияние анизотропии на деформации Anisotropy in curvature
- 9. Область геометрически-нелинейных деформаций Geometrically nonlinear deformations Вращения, вызванные изгибом с вертикальным смещением w(r), могут быть не
- 10. Изменение кривизны по площади Variation of curvature Experimentally observed and numerically estimated variation of curvature as
- 11. Bifurcation in equilibrium shape Example: graphite-polyimide laminate R is radius of the wafer Требование минимума упругой
- 12. Экспериментальное определение упругих деформаций в пленках Experimental determination of strain in films Измерения параметра решетки пленок
- 13. Микро-Рамановская спектроскопия Micro-Raman scattering Lateral mapping Confocal measurements Olympus microscope Lateral shift across SiN mask (μm)
- 14. Просвечивающая электронная микроскопия Transmission electron microscopy Strain mapping into a uniaxial 45 nm strained channel pinched
- 15. Изменение энергий электронных состояний Change in energy of electronic states
- 16. Should a surface of a stressed solid be flat? Does a flat surface provide the lowest
- 17. Нестабильность механически напряженной пленки Instability of mechanically stressed films Механизм развития нестабильности - поверхностная диффузия Mechanism
- 18. Малые периодические изменения толщины Small periodic variation of thickness ω=2π/λ
- 19. Малые периодические изменения толщины Small periodic variation of thickness
- 20. Плотность энергии и химический потенциал Energy and chemical potential Увеличение площади поверхности квадратично по a /
- 21. Критическая длина стабильности Critical length of stability Пусть a зависит от времени Изменение свободной энергии, усредненное
- 22. Нестабильность напряженной пленки Asaro-Tiller--Grinfeld instability ν = 0.3 G = 0.67 1011 Pa γ = 1
- 23. Нестабильность пленки GeSi на Si Asaro-Tiller--Grinfeld instability of GeSi on Si Transmission electron microscopy cross-sectional image
- 24. Возмущения второго порядка Second order disturbation
- 25. Применимость приближения малых флуктуаций Applicability of small perturbation approach The dependence of change in surface energy
- 27. Скачать презентацию