Содержание
- 2. Понятие вакуум Вакуум - газовая среда с давлением ниже атмосферного (P Международная единица - 1 Па
- 3. Некоторые единицы измерения давления, принятые в мировой практике
- 4. Основные единицы измерения давления, принятые в мировой практике
- 5. Использование вакуума в рутинных и модернизируемых технологиях ЭВП
- 7. Использование вакуума в рутинных и модернизируемых технологиях ЭВП Схема карусельной откачной машины (машины со средним вакуумом,
- 8. Условные обозначения насосов (начало таблицы)
- 9. Условные обозначения насосов (продолжение)
- 10. Условные обозначения элементов вакуумопроводов
- 11. Использование вакуума в современных технологиях
- 12. Использование вакуума (10-3 Па) в технологии сварки .1.7 The diagram of the electron beam welding carousel
- 13. Использование вакуума (10-5 Па) в технологии Электронной литографии Еlectron beam lithography installation based on a hydro
- 14. Использование вакуума (10-4 Па) в технологии нанесения тонких плёнок Схема установки УВН-73П-2: 1- the arm of
- 15. Использование вакуума (10-4 Па) в технологии нанесения тонких плёнок The view of the internal vacuum chamber
- 16. Использование вакуума (10-4 Па) в технологии выращивания монокристаллов Installation based on Chockhralsky method: 1- touch-string of
- 17. Использование вакуума (10-9 Па) в технологии МЛЭ Installation of molecular beam epitaxy: 1,2,3- evaporators; 4- the
- 18. Использование вакуума в современных технологиях
- 19. Использование вакуума в современных технологиях поверхностного и структурного анализа The general view of the analytical installation
- 20. Использование вакуума в современных методах физико-химического анализа поверхности P= 10-8 - 10-10 Pa 1. EMP (Electron
- 21. Размещение датчиков-анализаторов в вакуумных камерах установок физико-химического анализа поверхности ( P= 10-8 - 10-10 Pa) From
- 22. Требования к манипуляторам при перемещении датчиков-анализаторов в вакуумных камерах установок физико-химического анализа поверхности ( P= 10-8
- 23. Использование вакуума в современных методах физико-химического анализа поверхности P= 10-8 - 10-10 Pa
- 24. Вид вакуумной установки вторичной ионной масс-спектрометрии CAMECA-4m, P= 10-9 - 10-10 Pa
- 25. Использование вакуума в новейшем методе анализа поверхности с помощью времяпролётной масс-спектрометрии P= 10-9 - 10-10 Pa
- 26. Вид вакуумной установки времяпролётной масс-спектрометрии P= 10-9 - 10-10 Pa
- 27. Использование вакуума в современных технологиях (cборка фотоэлектронных приборов ночного видения P=10-10 Pa, «НПО Геофизика», ул. Стромынка,
- 28. Результат использование вакуума в технологии cборки приборов ночного видения P=10-10 Pa, «НПО Геофизика», ул. Стромынка, 18,
- 29. Использование вакуума в технологии cборка фотоэлектронных приборов ночного видения P=10-10 Pa (10 Авторских свидетельств МТ-11, МГТУ
- 30. Использование вакуума P=10-10 Pa в технологии сборки ФЭП (проект МЭЛЗ) 1- work chamber for photo cathode
- 31. Использование вакуума в современных технологиях (Установки термоядерного синтеза «Токамак 10», «Токамак 15 », P= 10-5 -10-8
- 32. Пример проекта по курсу ОВТ «Использование технологии СВЧ накачки Установки термоядерного синтеза «Токамак 15 » в
- 33. Использование вакуума в технологии защиты труб магистральных трубопроводов от «водородной болезни», P= 10-2 – 10-4 Pa
- 34. Пример использования вакуума в технологии защиты труб магистральных трубопроводов от «водородной болезни»
- 35. Средства получения вакуума
- 36. Основной путь получения вакуума – использование вакуумных насосов Второй – использование ловушек, которые обычно служат для
- 37. В зависимости от степени вакуума все насосы могут быть отнесены к следующим группам: 1.Насосы предварительного разряжения
- 39. Соотношение скоростей откачки насосов предварительного разрешения и высоковакуумных (или СВВ) насосов соединённых последовательно в одну линию,
- 40. Основные параметры вакуумных насосов. Р’-Предельное давление, Па – минимальное давление, создаваемое насосом на входном патрубке при
- 41. Обозначения: 1.корпус, 2.поршень, 3.тарельчатые клапаны. Впервые Отто Фон Герике в 1650г. использовал поршневой насос с водяным
- 42. История развития механических (“масляных”) вакуумных насосов во многом обязана немецкому инженеру Геде, который в 1911 году
- 43. История развития механических вакуумных насосов. Пластинчато-роторный насос Геде Обозначения: 1.статор. 2.ротор. 3.пластины с пружиной. Немецкий инженер
- 44. Газобалластные устройства механических вакуумных насосов После длительного простоя камеры в атмосфере её не удаётся откачать даже
- 45. Пластинчато-статорный насос насос Геде. Обозначения: 1.статор. 2.ротор. 3.пластина . Позже Геде предложил пластинчато-статорный насос. Конструкция данного
- 46. Золотниковый насос (Киннея). Обозначения: 1.статор. 2.ротор. 3.золотник. В обход патентов Геде американский инженер Кенней запатентовал золотниковый
- 47. Золотниковый насос сейчас 1 Качающаяся обойма, 2,4-золотник. ротор, 3. Статор-плунжер, 5-вкладыш-подшипник скольжения, 6-ротор, 7-вал ведущий В
- 48. Трахоидальный насос. . Обозначения 1.статор. 2.ротор. 3.шестерня. В 1970-х гг. фирма «Leybold» запатентовала трахоидальный насос. Изменение
- 49. Водокольцевой насос . . Обозначения 1.статор. 2.ротор. 3.вода, удерживаемая в статоре центробежной силой. Первоначально использовался для
- 50. Двухроторный насос Рутса. . Обозначения 1.статор. 2,3.роторы. Первоначально был изобретен инженером Рутсом для подачи воздуха в
- 51. Двухроторный кулачковый насос. . Конструкция доработана специалистами Казанского Университета, технология и производство освоены НИИ ВАКУУММАШ, г.Казань
- 52. История развития механических вакуумных насосов. Молекулярный насос был изобретен в 1911г. инженером Геде для улучшения вакуума,
- 53. Пример: рассчитать скорость вращения ротора простейшего молекулярного насоса, (насоса Геде) с диаметром ротора Dr = 0.4м.
- 54. История развития механических вакуумных насосов Турбомолекулярный насос, изобретённый Беккером в 1958г. В турбомолекулярном насосе молекулы откачиваемого
- 55. Вид в разрезе турбомолекулярного насоса ТМН 01 АБ 1500-004
- 56. Вид в разрезе насоса TurboV 1800 VARIAN
- 57. 3D вид турбомолекулярного насоса фирмы Varian
- 58. Вид современных турбомолекулярных насосов
- 59. Вид современных сверхминиатюрных турбомолекулярных насосов В турбомолекулярном насосе процесс откачки газа обеспечивается системой чередующихся, вращающихся и
- 60. Вид современных сверхминиатюрных турбомолекулярных насосов компаний: ∅50×110 S 4,5 л/с ∅50×75 S 10 л/с Pпред 1,3·10-4
- 61. Расчёт быстроты действия турбомолекулярного насоса Для эффективной откачки молекул газа, движущихся со средней тепловой скоростью Va
- 62. Перистальтиковый насос (НИИВТ, 1970-80 г.г.) . Обозначения: 1.корпус. 2.нажимные ролики. 3.эластичная спиральная трубка. Изменение объема рабочей
- 63. Перистальтиковый насос (Слева-НИИВТ, 1970-80 г.г.) (справа-JPL Co, California, USA Быстрота действия: S 12·10-3 л/с , предельный
- 64. Перистальтиковый насос: USC + JPL Co, California, USA Быстрота действия: S =12·10-3 л/с , предельный вакуум:
- 65. Мембранные насосы : - JPL Co, California, USA Быстрота действия: S =10-7 - 10-3 л/с ,
- 66. Транспирационный насос : - JPL Co, California, USA Быстрота действия: S= 1,86·10-4 л/с, предельный вакуум: Рпред
- 67. Поршневой насос (ISLAND SCIENTIFIC LTDVacuum Equipment, Used and Reconditioned for Technology, Industry, Research and Education )
- 68. . Поршневой насос (ВакуумМаш, Казан и Leybold) . Make: Leybold Model: Eco Dry L Pumping speed:
- 69. Поршневой насос (ВакуумМаш, Казан и Leybold) Использовался для регенерации атмосферы в помещениях орбитальных станций. . ISLAND
- 70. Анализ параметров и конструкций вакуумных насосов. Быстрота действия вращательного насоса Геде (пластинчато-роторный насос Геде) 1 -
- 71. Быстрота действия насоса Геде (Пластинчато-роторного насоса). “Геометрическая” быстрота откачки (измеряемая на входном отверстии статора) составит: Sг=2V1*n/60
- 72. Зависимость быстроты действия вращательного насоса ВН-494 от давления. Видно, что только при атмосферном давлении быстрота действия
- 73. Вращательный пластинчато-роторный насос НВР-4,5Д Казанского завода «Вакууммаш». характеристики: — быстрота действия насоса; — предельное давление насоса;
- 74. Вращательный пластинчато-роторный механический насос DS-102 фирмы Varian характеристики: — быстрота действия насоса; — предельное давление насоса;
- 75. Жидкостно-кольцевые вакуумные насосы являются видом механических вакуумных насосов. Особенностью этих насосов является статор, сформированный из жидкости.
- 76. Элементы водо-кольцевого вакуумного насоса . Слева- продольный разрез, справа- поперечное сечение : 1 - всасывающий патрубок,
- 77. Внешний вид и параметры жидкостно-кольцевых вакуумных насосов
- 78. Быстрота действия жидкостно–кольцевого вакуумного насоса. Лопатки, погруженные концами в кольцо жидкости, образуют ряд последовательно движущихся (поворачивающихся)
- 79. Параметры жидкостно–кольцевого вакуумного насоса Геометрическая быстрота откачки насоса: S = VP*m*n [м3*с-1] где: Vp – максимальный
- 80. Двухроторный насос (насос Рутса). Частота вращения роторов составляет 1500 – 4000 об/мин или n=25-70 с-1
- 81. Параметры двухроторного насоса (насоса Рутса). На схеме показаны 1 - впускной патрубок (фланец), 2 – корпус
- 82. Быстрота действия двухроторного насоса Суммарный поток газа откачиваемы насосом, :Q = Q пр – Q обр
- 83. Диффузионные насосы Диффузионный насос был одновременно изобретен в 1914 г в трех странах: 1- в России,
- 84. Параметры диффузионных насосов Геометрическая быстрота откачки такого сопла может быть рассчитана: где V1– объем газа, ударяющегося
- 85. Многоступенчатые диффузионные насосы Только 25-30% молекул, ударяющихся о струю проникают в нее и могут быть откачены.
- 86. «Разгоночные» диффузионные насосы Показанный на рис. насос – «разгоночный» , так как отделяет (разгоняет) лёгкие фракции,
- 87. Эжекторные пароструйные насосы Показанный на рис. – «разгоночный» насос, в своей внутренней области (среднего вакуума) имеет
- 88. Эжекторные пароструйные насосы Эжекторное сопло откачивает газы за счёт вязкостного (эжекторного) механизма откачки.Струя пара не должна
- 89. Внешний вид диффузионного насоса диффузионный насос НВДМ-100 (ООО Вакуум Маш, Казань) (вид на фото,справа) имеет характеристики:
- 90. Внешний вид диффузионного насоса диффузионный насос HS-2, Varian Co (справа) имеет характеристики: — быстрота действия насоса;
- 91. Требования к рабочими жидкостям диффузионного насоса Требуемые характеристики: 1 —малое давление насыщающих паров при температуре стенки
- 92. Параметры рабочих жидкостей диффузионных насосов давление насыщающих паров при температуре стенки термоокислительная стойкость теплота парообразования
- 93. Ловушки механических насосов Ловушки служат для улучшения вакуума, получаемого вакуумными насосами для улавливания паров или газов
- 94. Ловушки диффузионных насосов служат для улучшения вакуума, получаемого диффузионными вакуумными насосами Представленная азотная ловушка фирмы vacma,
- 95. Ловушки диффузионных насосов служат для улучшения вакуума, получаемого диффузионными вакуумными насосами Представленная азотная ловушка 334 фирмы
- 97. Скачать презентацию