Содержание
- 2. Уже несколько десятков лет в машиностроении, микроэлектронике и медицине используются тонкие пленки нитрида титана (TiN). Пленки
- 3. Традиционный метод нанесения покрытия: метод вакуумного дугового испарения. Недостатки: сложность конструкции источников, наличие в потоке осаждаемого
- 4. Импульсные магнетронные распылительные системы (МРС) дуального типа Схема экспериментальной установки для нанесения слоев нитрида титана методом
- 5. Пленки TiN имеют поликристаллическую структуру с ориентацией по кристаллографическим направлениям (111), (200), (220). Увеличение энергии осаждаемых
- 6. Морфология поверхности зависит от расстояния «мишень-подложка». При удаленном расположении подложки от плоскости мишени, поверхность покрытия имеет
- 8. Скачать презентацию