Основы наноинженерии. Инструменты и методы наноинженерии

МИКРОСКОПИЯ

Оптическая
Электронная
Сканирующая зондовая

Оптические микроскопы

Микроскоп
Джона Каффа, 1750 г.

Микроскоп XVII в., гравюра

Экспонат микроскопа, UP

Схема работы микроскопа

1 – Осветительная лампа
2 – Линза, используемая для равномерного

Дифракция и интерференция

Схема работы электронного микроскопа

Виды электронных микроскопов

Просвечивающий электронный микроскоп (ПЭМ)
Растровый электронный микроскоп (РЭМ)
Растровый просвечивающий электронный

Общий вид электронного микроскопа

Принципиальная схема РЭМ

Туннельный эффект

Принцип действия сканирующего туннельного микроскопа (СТМ)

Программное обеспечение СТМ

Режимы работы СТМ

Режим постоянной высоты

Режим постоянного тока

СТМ снимки

Поверхность монокристаллического кремния

Снимок примесей замещения Cr (небольшие выпуклости) на поверхности

Принцип действия атомного силового микроскопа (АСМ)

Зависимость силы межатомного взаимодействия от расстояния

Принцип работы АСМ

Схема работы АСМ

Рабочие части АСМ

Электронный микроснимок двух V-образных кантилеверов длиной 100 мкм

Три вида

Комбинированный фрикционный и рельефный снимок атомов графита

Размер участка – 2,5х2,5 нм.
Выпуклости

Зонд FIRAT