Оценивание толщины тонких пленок

Август 12, 2022

Главная
Физика
Оценивание толщины тонких пленок

Содержание

2. Методы разрушающие неразрушающие
3. Разрушающие методы 1) Определение толщины цветовым методом; 2) Контактная профилометрия; 3) Контактный режим АСМ.
4. Определение толщины цветовым методом Цветовой метод основан на зависимости цвета тонких прозрачных пленок, нанесенных на отражающую
5. Контактная профилометрия Консоль (1) держит иглу (2), которая перемещается горизонтально в направлении (3) над поверхностью объекта
6. Контактный профилометр
7. Контактный режим АСМ
9. Неразрушающие методы 1) Гравиметрия; 2) Эллипсометрия; 3) Рефлектометрия; 4) Интерферометрия; 5) Бесконтактный режим АСМ; 6) РЭМ;
10. Гравиметрия Метод основан на взвешивании подложки до и после нанесения пленки.
11. Эллипсометрия как установили эталонную толщину?
12. Эллипсометрия
13. Эллипсометры
14. Рефлектометрия Меняя угол падения и анализируя только зеркально отражённый луч, получают так называемые рефлектометрические кривые .
15. Рентгеновская рефлектометрия Метод рентгеновской рефлектометрии основан на измерении отражательной способности рентгеновских лучей поверхностью материала вблизи угла
16. Интерферометрия
17. Интерферометр
18. Растровый электронный микроскоп
20. Скачать презентацию

Слайд 2

Методы разрушающие неразрушающие

Слайд 3

Разрушающие методы
1) Определение толщины цветовым методом;
2) Контактная профилометрия;
3) Контактный режим

АСМ.

Слайд 4

Определение толщины цветовым методом
Цветовой метод основан на зависимости цвета тонких

прозрачных пленок, нанесенных на отражающую подложку, от их толщины.
Применим для диэлектрических покрытий с известным показателем преломления.

Слайд 5

Контактная профилометрия
Консоль (1) держит иглу (2), которая перемещается горизонтально в

направлении (3) над поверхностью объекта (5). Движение иглы повторяет основные неровности профиля и соответственно двигает консоль вертикально. Вертикальная позиция (4) записывается как измеренный профиль поверхности (6).

Слайд 6

Контактный профилометр

Слайд 7

Контактный режим АСМ

Слайд 8

Слайд 9

Неразрушающие методы
1) Гравиметрия;
2) Эллипсометрия;
3) Рефлектометрия;
4) Интерферометрия;
5) Бесконтактный

режим АСМ;
6) РЭМ;

Слайд 10

Гравиметрия
Метод основан на взвешивании подложки до и после нанесения пленки.

Слайд 11

Эллипсометрия как установили эталонную толщину?

Слайд 12

Эллипсометрия

Слайд 13

Эллипсометры

Слайд 14

Рефлектометрия
Меняя угол падения и анализируя только зеркально отражённый луч, получают так

называемые рефлектометрические кривые . Анализ таких кривых позволяет установить глубинную структуру тонких плёнок.
Пучок какую имеет площадь?

Слайд 15

Рентгеновская рефлектометрия
Метод рентгеновской рефлектометрии основан на измерении отражательной способности рентгеновских

лучей поверхностью материала вблизи угла полного внешнего отражения.

Слайд 16

Интерферометрия

Слайд 17

Интерферометр

Слайд 18

Растровый электронный микроскоп