Содержание
- 2. Пусть подложка - грань (011) о.ц.к. кристалла Пусть подложка - грань (011) о.ц.к. кристалла Наложим сетку
- 3. Е ± не зависит от af/as при всех углах рассогласования, кроме ϑ=00 и 5,260. Е ±
- 4. Дислокации Дислокации Увеличение рассеяния электронов Понижение подвижности носителей Вид эпитаксиального роста может зависеть от условий
- 8. Скачать презентацию
Пусть подложка - грань (011) о.ц.к. кристалла
Пусть подложка - грань
Пусть подложка - грань (011) о.ц.к. кристалла
Пусть подложка - грань
Наложим сетку атомов, соответствующую
грани (111) г.ц.к. кристалла
Если направление [211] гцк кристалла
вдоль направления [110] оцк и
решетку гцк слегка сжать вдоль оси y и
растянуть вдоль оси x.
При af /as = 1.0887 (af и as – постоянные
решетки пленки и подложки) поворотом
верхнего слоя на 5.26о.
Решетки можно согласовать
Е ± не зависит от af/as при всех углах
рассогласования, кроме
Е ± не зависит от af/as при всех углах
рассогласования, кроме
Е ± не зависит от af/as при всех углах
рассогласования, кроме ϑ=00 и 5,260.
Ориентационное соотношение
Курдюмова-Сакса
Не всегда af/as соответствует
оптимальным значениям
Имеется
рассогласование
Параметр f = (af –aS )/aS.
Деформация пленки, что позволяет
согласовать контактирующие слои.
Можно рассчитать энергию взаимодействия пленки с подложкой,
воспользовавшись потенциалом 6-12 Леннарда-Джонса,
ϑ=00
ϑ=5,260
Ориентационное соотношение
Нишиямы-Вассермана
При f≠0 также возможен
эпитаксиальный рост
При большом f возможно появление дефектов –
солитонов, дислокаций несоответствия
Дислокации
Дислокации
Увеличение рассеяния электронов
Понижение подвижности носителей
Вид эпитаксиального роста может зависеть от условий
Дислокации
Дислокации
Увеличение рассеяния электронов
Понижение подвижности носителей
Вид эпитаксиального роста может зависеть от условий