173be9b1-e111-46fe-bff2-723e345dacb2

ОЭС (AES)

ФЭС (PES)

ВИМС (SIMS)

Tобр

Общая схема анализа

Схематический спектр электронов и типы анализаторов

Ep

Ep+ΔEp

Анализаторы отклоняющего типа

образец

детектор

Оже электронная спектроскопия (ОЭС) - широко используемая методика для исследования химического

ОЭС метод чувствительный
к поверхности

Зависимость длины свободного пробега электрона от энергии

Глубина ОЭС
анализа !
(5 атомн. слоев)

E(Auger)=E(K)-E(L2)-E(L3)
(E(X-ray)=E(K)-E(L2) )

Пример KLL оже - перехода

1-этап:
выбивание
Электрона из
К-оболочки

(3 –этап):
(альтернативный)
Рентгеновск.

Сравнение вероятностей выхода электрона
и рентгеновского фотона

Варианты оже процессов

Изменение чувствительности ОЭС сигнала от элемента и энергии первичного пучка

KLL

KLL

LMM

LMM

MNN

MNN

Энергия первичного пучка электронов (Primary Beam) = 3 - 20

Виды оже электронных спектров

Необработанный

Дифферинциальный
(аппаратное дифференцирование
Сихронным детектором)

Удаляется неинформативный наклон
Улучшается отношение

Пример оже спектра при напылении Au на Ni(111)
(Riber OPC-200)

Количественное определение состава образца

Используются данные в дифференциальной форме
Используются различные коэффициенты чувствительности

Блок-схема электронного Оже-спектрометра Riber OPC-103

Синхронный детектор

+

+

Фильтрование синхронного детектора

Сужение спектра пропущенных частот – уменьшает шумы

dU -

Синхронный детектор – аппаратное дифференцирование

dU - mod

dU - mod

dN/dE ~ dN/dUmod

Uвых-сд

Внешний вид вакуумной части спектрометра ОРС-103.

а – в сборе, b –

1 – сверхвысоковакуумная камера, 2 – квадрупольный масс-спектрометр QMM-17, 3 –

Сканирующий ОЭС анализатор в комбинации ионной пушкой

Сравнение методов анализа

Дополнительные преимущества оже электронной спектроскопии

Определение состава поверхности и примесей с точностью