Атомно-силовая микроскопия

Сентябрь 3, 2022

Главная
Алгебра
Атомно-силовая микроскопия

Содержание

2. Силовое взаимодействие зонда с поверхностью - Во время контакта преобладает сила упругого отталкивания - задача Герца
3. Задача Герца Глубина проникновения Давление в контакте Постановка задачи Герца Зависимость силы от глубины проникновения
4. Влияние упругих деформаций на эксперимент Конволюция зонда при сканировании Разрушение материала при сканировании При одинаковых условиях
5. Капиллярные силы В большинстве случаев на поверхности исследуемого образца присутствует жидкая пленка микроскопических масштабов. Это приводит
6. Ван-дер-ваальсовы силы Ван-дер-ваальсовое взаимодействие состоит из трех типов слабых взаимодействий: - Ориентационные силы, диполь-дипольное притяжение. Осуществляется
7. Ван-дер-ваальсовы силы Для кремниевого зонда:
8. Силы адгезии Адгезия – прилипание друг к другу находящихся в контакте поверхностей, за счет электростатических сил,
9. Силы адгезии Существует несколько теоретических моделей адгезии, имеющих свои области применимости. Наиболее точной является модель Маугиса
10. Схема оптической регистрации изгиба консоли Для регистрации сил взаимодействия зонда с поверхностью используют метод, основанный на
11. Оптическая система АСМ Изгиб из-за сил, действующих по нормали к поверхности Изгиб под действием латеральных сил
13. Зондовые датчики АСМ Сравнительные размеры зондовых датчиков для АСМ
14. Технология изготовления кантилеверов Изготовление зондовых датчиков для АСМ представляет собой достаточно сложный технологический процесс, включающий в
15. Технология изготовления кантилеверов Покрытие Au, Al
17. Режимы работы АСМ Кантилевер непосредственно касается поверхности и повторяет её форму по мере прохождения поверхности Бесконтактный
18. Контактная атомно-силовая микроскопия
19. Метод постоянной силы При сканировании образца врежиме Fz = const система обратной связи поддерживает постоянной величину
20. Метод постоянной высоты При использовании Метода Постоянной Высоты сканер микроскопа поддерживает закрепленный конец кантилевера на постоянной
21. Контактный метод рассогласования Метод постоянной силы обладает определенными недостатками, связанными с использованием системы обратной связи. Скорость
22. Примеры применения контактного метода рассогласования Пленка ПВП, метод постоянной силы Метод рассогласования
23. Микроскопия сил трения Позволяет различать области с различными коэффициентами трения, а также подчеркивать особенности рельефа поверхности.
24. Метод Модуляции Силы В процессе реализации метода одновременно со сканированием образца в соответствии с методом постоянной
25. Недостатки контактной АСМ Недостатком контактных АСМ методик является: непосредственное механическое взаимодействие зонда с поверхностью. Это часто
26. Недостатки контактной АСМ - Неконсервативные эффекты - Проминание наклонной области
27. Предельное разрешение в АСМ Радиус закругления зонда Радиус зонда R намного меньше радиуса закругления r исследуемых
28. Бесконтактный режим работы АСМ В бесконтактном режиме кантилевер совершает вынужденные колебания с малой амплитудой порядка 1
29. Прерывисто-контактные методики атомно-силовой микроскопии
30. Полуконтактный режим работы АСМ Регистрация изменения амплитуды и фазы колебаний кантилевера в бесконтактном режиме требует высокой
31. Примеры использования полуконтактной АСМ Хитозановый нановолокнистый материал Хитозановый материал с антимикробной активностью, содержащий левомицетин
32. Метод фазового контраста Когда в процессе колебаний кончик зонда касается поверхности образца он испытывает не только
33. Пример применения метода фазового контраста Изображения рельефа и фазы полиэтилена
34. Зондовая НаноЛаборатория ИНТЕГРА Прима СЗМ, который является центральным звеном комплектации ИНТЕГРА Прима, вобрал в себя все
35. Примеры применения Исследование кристаллизации полимеров
36. Примеры применения Атомарное разрешение MoTe2
37. Примеры применения Исследования направленной кристаллизации стекла 2Bi2O3 – 3GeO2 – xFe2O3
38. Примеры применения
39. Примеры применения Исследование полимеров Поливинилпирролидон Полиоксибутират
40. Примеры применения CdF2/CaF2 эпитаксиальная пленка выращенная на Si(100) Размер: 1.6x1.6 um
41. Примеры применения Изображение эпитаксиальной MnAs ферромагнитной пленки выращеной на Si(111) с As буферным слоем Размер: 6.3x6.3
43. Скачать презентацию

Слайд 2

Силовое взаимодействие зонда с поверхностью
- Во время контакта преобладает сила упругого

отталкивания - задача Герца
На расстояниях «кантилевер-образец» в несколько десятков ангстрем главным является межмолекулярное взаимодействие - сила Ван-дер-Ваальса (а также возможны капиллярные силы и адгезия)
При дальнейшем удалении от поверхности преобладает электростатическое взаимодействие
На масштабах порядка тысячи ангстрем - магнитные силы

Слайд 3

Задача Герца
Глубина проникновения
Давление в контакте
Постановка задачи Герца
Зависимость силы от глубины

проникновения

Слайд 4

Влияние упругих деформаций на эксперимент
Конволюция зонда при сканировании
Разрушение материала при

сканировании

При одинаковых условиях сканирования одним и тем же зондом может происходить разрушение твердого образца, в то время как более мягкий не разрушится
Возможность разрушения образца или зонда зависит от скорости сканирования

Слайд 5

Капиллярные силы
В большинстве случаев на поверхности исследуемого образца присутствует жидкая

пленка микроскопических масштабов. Это приводит к существенным эффектам при взаимодействии кантилевера с такой поверхностью, т.к. на столь малом масштабе большое значение приобретают силы поверхностного натяжения.

Капиллярная сила

Образование шейки

Для расчета капиллярной силы

Слайд 6

Ван-дер-ваальсовы силы
Ван-дер-ваальсовое взаимодействие состоит из трех типов слабых взаимодействий:
-

Ориентационные силы, диполь-дипольное притяжение. Осуществляется между молекулами, являющимися постоянными диполями. Примером может служить HCl в жидком и твердом состоянии. Энергия такого взаимодействия обратно пропорциональна кубу расстояния между диполями
Дисперсионное притяжение (лондоновские силы). Взаимодействием между мгновенным и наведенным диполем. Энергия такого взаимодействия обратно пропорциональна шестой степени расстояния между диполями.
- Индукционное притяжение. Взаимодействие между постоянным диполем и наведенным(индуцированным). Энергия такого взаимодействия обратно пропорциональна шестой степени расстояния между диполями.

Это силы межмолекулярного взаимодействия, являющаяся электростатическим взаимодействием молекулярных оболочек

Слайд 7

Ван-дер-ваальсовы силы
Для кремниевого зонда:

Слайд 8

Силы адгезии
Адгезия – прилипание друг к другу находящихся в контакте поверхностей,

за счет электростатических сил, природа которых разная для разных материалов.
Своим происхождением она обязана наличию короткодействующих молекулярных сил

Работа адгезии:

Схематичное указание работы адгезии

Слайд 9

Силы адгезии
Существует несколько теоретических моделей адгезии, имеющих свои области применимости. Наиболее

точной является модель Маугиса

Модель Маугиса
(1992)

DMT
(Derjagin, Muller, Toropov, 1975)

JKR
(Johnson, Kendall, Roberts, 1964-1971)

Зависимость силы от глубины проникновения

Самая точная, но самая сложная

Слайд 10

Схема оптической регистрации изгиба консоли
Для регистрации сил взаимодействия
зонда с поверхностью

используют
метод, основанный на регистрации
отклонения лазерного луча, отраженного от кончика зонда. Луч направляется на самый кончик кантилевера, после чего попадает в специальный четырёхсекционный фотодиод.
Малейшие отклонения кантилевера приводят к смещению луча лазера относительно секций фотодиода.
Такая система позволяет измерять отклонения луча на угол 0.1 град, что соответствует отклонению кантилевера всего на сотые доли нанометра

Слайд 11

Оптическая система АСМ
Изгиб из-за сил, действующих по нормали к поверхности
Изгиб под

действием латеральных сил

Слайд 12

Слайд 13

Зондовые датчики АСМ
Сравнительные размеры зондовых датчиков для АСМ

Слайд 14

Технология изготовления кантилеверов
Изготовление зондовых датчиков для АСМ представляет собой достаточно сложный

технологический процесс, включающий в себя операции фотолитографии, ионной имплантации, химического и плазменного травления

Слайд 15

Технология изготовления кантилеверов
Покрытие Au, Al

Слайд 16

Слайд 17

Режимы работы АСМ
Кантилевер непосредственно касается поверхности и повторяет её форму по

мере прохождения поверхности

Бесконтактный и полуконтактный режим характеризуются дополнительным условием сканирования, которое позволяет осуществить более щадящее и тонкое сканирование.
Кантилевер жестко связывается с
пъезоэлементом и колеблется со своей резонансной частотой. Детектируется не только амплитудное отклонение, но и фазовое.

Слайд 18

Контактная атомно-силовая микроскопия

Слайд 19

Метод постоянной силы
При сканировании образца врежиме Fz = const система обратной

связи поддерживает постоянной величину изгиба кантилевера, а следовательно, и силу взаимодействия зонда с образцом. При этом управляющее напряжение в петле обратной связи, подающееся на Z-электрод сканера, будет пропорционально рельефу поверхности образца

Слайд 20

Метод постоянной высоты
При использовании Метода Постоянной Высоты сканер микроскопа поддерживает

закрепленный конец кантилевера на постоянной высоте. Таким образом отклонения кантилевера отражают рельеф поверхности исследуемого образца.

Плюс метода постоянной высоты - высокая скорость сканирования, которая ограничивается только резонансными свойствами кантилевера.

Слайд 21

Контактный метод рассогласования
Метод постоянной силы обладает определенными недостатками, связанными с использованием

системы обратной связи. Скорость сканирования в нем ограничена постоянной времени системы обратной связи. Этот недостаток в значительной степени может быть преодолен с использованием того факта, что в процессе сканирования новое значение величины изгиба кантилевера (и сигнал рассогласования) устанавливается быстрее чем система обратной связи приведет величину изгиба к предустановленному значению.

Сигнал Рассогласования системы обратной связи, возникающий в процессе сканирования содержит дополнительную информацию относительно рельефа поверхности. Он может быть использован для более полного воспроизведения рельефа

Слайд 22

Примеры применения контактного метода рассогласования
Пленка ПВП, метод постоянной силы
Метод

рассогласования

Слайд 23

Микроскопия сил трения
Позволяет различать области с различными коэффициентами трения, а также

подчеркивать особенности рельефа поверхности. Эти возможности могут быть использованы одновременно с получением рельефа поверхности для более полной характеризации исследуемого образца.

Физические основы метода состоит в том, что при сканировании по методу постоянной силы помимо изгиба кантилевера в нормальном направлении происходит также и его торсионный изгиб. Он обусловлен моментом силы действующей на зонд. Для малых отклонений угол закручивания пропорционален поперечной (латеральной) силе. Торсионное закручивание кантилевера измеряется оптической системой микроскопа.

Слайд 24

Метод Модуляции Силы
В процессе реализации метода одновременно со сканированием образца в

соответствии с методом постоянной высоты сканер совершает вертикальные периодические колебания. При периодическим движении кантилевер «чувствует» поверхность образца. При этом давление зонда на поверхность образца не остается постоянной, но содержит периодическую (обычно синусоидальную) компоненту. В соответствии с локальной жесткостью образца величина соответствующих вмятин будет изменяться в процессе сканирования. На жестких участках поверхности образца вмятины будут мельче, а на мягких участках – глубже.

Если известны величины вертикального смещения сканера Dz, вертикального смещения зонда D и жесткость кантилевера кs , то можно определить локальную жесткость исследуемого образца кs В свою очередь при известной локальной жесткости можно определить модуль упругости образца

Слайд 25

Недостатки контактной АСМ
Недостатком контактных АСМ методик является:
непосредственное механическое взаимодействие зонда

с поверхностью. Это часто приводит к поломке зондов и разрушению поверхности образцов.
погрешности и артефакты вносимые упругими силами

Слайд 26

Недостатки контактной АСМ
- Неконсервативные эффекты
- Проминание наклонной области

Слайд 27

Предельное разрешение в АСМ
Радиус закругления зонда
Радиус зонда R намного меньше радиуса

закругления r исследуемых объектов

Радиус зонда R приблизительно равен радиусу закругления r исследуемых объектов

Слайд 28

Бесконтактный режим работы АСМ
В бесконтактном режиме кантилевер совершает вынужденные колебания с

малой амплитудой порядка 1 нм. При приближении зонда к поверхности на кантилевер начинает действовать дополнительная сила со стороны образца. При Ван-дер-Ваальсовом взаимодействии это соответствует области расстояний между зондом и образцом, где действует сила притяжения. Таким образом, наличие силы взаимодействия зонда с поверхностью образца приводит к дополнительному сдвигу АЧХ и ФЧХ системы

Слайд 29

Прерывисто-контактные методики атомно-силовой микроскопии

Слайд 30

Полуконтактный режим работы АСМ
Регистрация изменения амплитуды и фазы колебаний кантилевера в

бесконтактном режиме требует высокой чувствительности и устойчивости работы обратной связи. На практике чаще используется так называемый "полуконтактный" режим колебаний кантилевера (иногда его называют прерывисто-контактный, а в иностранной литературе - "intermittent contact" или "tapping mode" режимы). При работе в этом режиме возбуждаются вынужденные колебания кантилевера вблизи резонанса с амплитудой порядка 10 – 100 нм. Кантилевер подводится к поверхности так, чтобы в нижнем полупериоде колебаний происходило касание поверхности образца (это соответствует области отталкивания на графике зависимости силы от расстояния

При сканировании образца регистрируется изменение амплитуды и фазы колебаний кантилевера. Взаимодействие кантилевера с поверхностью в "полуконтактном" режиме состоит из ван-дер-ваальсового взаимодействия, к которому в момент касания добавляется упругая сила, действующая на кантилевер со стороны поверхности

Слайд 31

Примеры использования полуконтактной АСМ
Хитозановый нановолокнистый материал
Хитозановый материал с антимикробной активностью, содержащий

левомицетин

Слайд 32

Метод фазового контраста
Когда в процессе колебаний кончик зонда касается поверхности образца

он испытывает не только отталкивающие, но и адгезионные, капиллярные и ряд других сил. В результате взаимодействия зонда с поверхностью образца происходит сдвиг не только частоты, но и фазы колебаний. Если поверхность образца является неоднородной по свои свойствам, соответствующим будет и фазовый сдвиг.

Распределение фазового сдвига по поверхности будет отражать распределение характеристик материала образца. Такой метод сканирования, при котором регистрируется фазовый сдвиг (Метод Отображения Фазы) является весьма полезным для исследований материалов.

Слайд 33

Пример применения метода фазового контраста
Изображения рельефа и фазы полиэтилена

Слайд 34

Зондовая НаноЛаборатория ИНТЕГРА Прима
СЗМ, который является центральным звеном комплектации ИНТЕГРА Прима, вобрал в себя

все достижения и последние разработки в области зондовой микроскопии. Он позволяет в контролируемых условиях проводить изучение рельефа и физических свойств поверхности с использованием практически любых применяемых сегодня методов зондовой микроскопии, достигая при этом атомно-молекулярного разрешения.

Слайд 35

Примеры применения
Исследование кристаллизации полимеров

Слайд 36

Примеры применения
Атомарное разрешение MoTe2

Слайд 37

Примеры применения
Исследования направленной кристаллизации стекла
2Bi2O3 – 3GeO2 – xFe2O3

Слайд 38

Примеры применения

Слайд 39

Примеры применения
Исследование полимеров
Поливинилпирролидон
Полиоксибутират

Слайд 40

Примеры применения
CdF2/CaF2 эпитаксиальная пленка выращенная на Si(100)
Размер: 1.6x1.6 um

Слайд 41

Примеры применения
Изображение эпитаксиальной MnAs ферромагнитной пленки выращеной на Si(111) с As буферным

слоем
Размер: 6.3x6.3 um

Атомно-силовая микроскопия

Содержание

Силовое взаимодействие зонда с поверхностью- Во время контакта преобладает сила упругого

Задача Герца Глубина проникновенияДавление в контактеПостановка задачи ГерцаЗависимость силы от глубины

Влияние упругих деформаций на экспериментКонволюция зонда при сканировании Разрушение материала при

Капиллярные силы В большинстве случаев на поверхности исследуемого образца присутствует жидкая

Ван-дер-ваальсовы силы Ван-дер-ваальсовое взаимодействие состоит из трех типов слабых взаимодействий: -

Ван-дер-ваальсовы силыДля кремниевого зонда:

Силы адгезииАдгезия – прилипание друг к другу находящихся в контакте поверхностей,

Силы адгезииСуществует несколько теоретических моделей адгезии, имеющих свои области применимости. Наиболее

Схема оптической регистрации изгиба консолиДля регистрации сил взаимодействия зонда с поверхностью

Оптическая система АСМИзгиб из-за сил, действующих по нормали к поверхностиИзгиб под

Зондовые датчики АСМСравнительные размеры зондовых датчиков для АСМ

Технология изготовления кантилеверовИзготовление зондовых датчиков для АСМ представляет собой достаточно сложный

Технология изготовления кантилеверовПокрытие Au, Al

Режимы работы АСМКантилевер непосредственно касается поверхности и повторяет её форму по

Контактная атомно-силовая микроскопия

Метод постоянной силыПри сканировании образца врежиме Fz = const система обратной

Метод постоянной высоты При использовании Метода Постоянной Высоты сканер микроскопа поддерживает

Контактный метод рассогласованияМетод постоянной силы обладает определенными недостатками, связанными с использованием

Примеры применения контактного метода рассогласования Пленка ПВП, метод постоянной силы Метод

Микроскопия сил тренияПозволяет различать области с различными коэффициентами трения, а также

Метод Модуляции СилыВ процессе реализации метода одновременно со сканированием образца в

Недостатки контактной АСМНедостатком контактных АСМ методик является: непосредственное механическое взаимодействие зонда

Недостатки контактной АСМ- Неконсервативные эффекты- Проминание наклонной области

Предельное разрешение в АСМРадиус закругления зондаРадиус зонда R намного меньше радиуса

Бесконтактный режим работы АСМВ бесконтактном режиме кантилевер совершает вынужденные колебания с