ЭЛЕКТРОННО-ПУЧКОВАЯ МАШИНА РИТМ-СП
Миланский политехнический университет
Параметры источника электронных пучков:
Ускоряющее
напряжение − от 15 до 30 кВ
Длительность импульса − 2 - 4 мкс
Диаметр пучка − не менее 60 мм
Плотность энергии пучка − от 3 до 10 Дж/см2
Параметры магнетронной системы осаждения:
Мощность в разряде – до 0,8 кВт
Давление рабочего газа – от 0,08 до 1,5 Па
Диаметр катода – 75 мм
Скорость осаждения – от 1 до 10 мкм/час при 500 Вт
Параметры источника ионных пучков:
Ионный ток – до 80 мА
Средняя энергия ионов – от 250 до 1700 эВ
Рабочее напряжение – от 500 до 3500 В
Мощность – до 2,5 кВт
Электронно-пучковая машина, снабженная системой магнетронного распыления
Модель: РИТМ-СП