Содержание
- 2. ТИПЫ ЛИТОГРАФИИ И ПРОСТРАНСТВЕННОЕ РАЗРЕШЕНИЕ Фотолитография (ФЛ) – это совокупность фотохимических процессов, в которых можно выделить
- 3. ТИПЫ ЛИТОГРАФИИ И ПРОСТРАНСТВЕННОЕ РАЗРЕШЕНИЕ
- 4. ФОРМИРОВАНИЕ ИЗОБРАЖЕНИЯ позитивное изображение негативное изображение
- 5. ФОТОЛИТОГРАФИЯ нанесение фоторезиста на металл, диэлектрик или полупроводник методами центрифугирования, напыления или возгонки; сушка фоторезиста при
- 6. ФОТОРЕЗИСТЫ ФОТОРЕЗИСТЫ, светочувствительные материалы, применяемые в фотолитографии для формирования рельефного покрытия заданной конфигурации и защиты нижележащей
- 7. ФОТОРЕЗИСТЫ По спектральной чувствительности различают фоторезисты для видимой области спектра, ближнего ( 320-450 нм) и дальнего
- 8. ФОТОРЕЗИСТЫ При экспонировании в слое фоторезиста образуется скрытое изображение. При этом светочувствительных компонент претерпевает ряд фотохимических
- 9. ПОЗИТИВНЫЕ ФОТОРЕЗИСТЫ Из позитивных фоторезистов наиболее распространены композиции, содержащие в качестве светочувствительного компонента сульфо-эфиры о-нафгохинондиазида (5-40%
- 10. НЕГАТИВНЫЕ ФОТОРЕЗИСТЫ Среди негативных фоторезистов наиб. распространены композиции на основе циклолефиновых каучуков с диазидами в качестве
- 11. ФОТОРЕЗИСТЫ Позитивные фоторезисты чувствительны к экспозиции 10-250 мДж/см2, имеют разрешающую способность 0,1-2,0 мкм, контрастность 1,5-5, теплостойкость
- 13. Скачать презентацию