Технологія виготовлення мікросхем на основі КМОН

КМОН

КМОН (К-МОН; комплементарна структура метал-оксид-напівпровідник; англ. CMOS, Complementary-symmetry/metal-oxide semiconductor) — технологія

Статичний КМОН-інвертор

Етапи технологічного процесу виготовлення КМОП ІС:

Послідовність формування КМОН-структури:

Послідовність формування КМОН-CНС-структури:

Порівняльна характеристика деяких типів структур ІМС

Структура МОН транзистора із полі-Si затвором: