Преимущества:
Атомно-силовая микроскопия позволяет получить истинно трёхмерный рельеф поверхности;
Изучаемая поверхность не
требует нанесения проводящего металлического покрытия, которое часто приводит к заметной деформации поверхности.
большинство режимов атомно-силовой микроскопии могут быть реализованы на воздухе или даже в жидкости.
Преимущества и недостатки АСМ
Недостатки:
Небольшой размер поля сканирования.;
Низкая скорость сканирования поверхности, по сравнению с электронным микроскопом;
Нелинейность, гистерезис и ползучесть (крип) пьезокерамики сканера, являются причинами сильных искажения АСМ-изображений.