Содержание
- 4. ИСПОЛЬЗОВАНИЕ ЗОНДОВЫХ ТЕХНОЛОГИЙ В НАНОЭЛЕКТРОНИКЕ Сканирующая зондовая микроскопия – физический метод исследования поверхностных слоев с нанометровым
- 6. Виды и задачи сканирующей зондовой микроскопии сканирующий сканирующий сканирующий тунельный атомно-силовой оптический ближнеполный микроскоп микроскоп микроскоп
- 7. История появления инструментов В 1981 г. Гердом Биннигом и Генрихом Рорером изобретен сканирующий туннельный микроскоп (СТМ)
- 9. Схема работы устройств зондовой микроскопии
- 10. Сканирующий элемент Сканирующие элементы зондовых микроскопов изготавливаются из пьезоэлектриков – материалов, обладающих пьезоэлектрическими свойствами. В различных
- 11. Сканирующий элемент Уравнение обратного пьезоэффекта: где uij – тензор деформаций, Ek – компоненты электрического поля, dijk
- 12. Сканирующий элемент - трипод Соединение трех трубок в один узел позволяет организовать прецизионные перемещения зонда в
- 13. Трубчатый сканирующий элемент При подаче противофазных напряжений на противоположные секции внешнего электрода происходит сокращение участка трубки
- 14. Широкое распространение получили также сканеры на основе биморфных пьзоэлементов. Биморф представляет собой две пластины пьезоэлектрика, склеенные
- 15. Устройства для прецизионных перемещений Рычажной редуктор Пружинный редуктор перемещений
- 16. Устройства для прецизионных перемещений Шаговый электродвигатель Показанный на рис. двигатель имеет величину шага 30 град. При
- 17. Устройства для прецизионных перемещений 1 – основание; 2 – пьезоэлектрическая трубка; 3 – электроды; 4 –
- 18. Виброизолирующие системы Пассивные Амплитуда вынужденных колебаний механической системы быстро спадает при увеличении разницы между частотой возбуждающей
- 19. Виброизолирующие системы Активные Устройства представляют собой электромеханические системы с отрицательной обратной связью, которая обеспечивает стабильное положение
- 20. Защита от акустических шумов
- 21. Процесс сканирования Схематическое изображение процесса сканирования. Направление прямого хода сканера обозначено стрелками красного цвета, Обратный ход
- 22. Визуализация Трехмерная
- 23. Визуализация Двумерная
- 24. Устранение побочной информации Вычитание постоянной составляющей Вычитание постоянного наклона Устранение искажений, связанных с неидеальностью сканера Устранение
- 25. Фильтрация изображений Медианная фильтрация Усреднение по строкам Фурье - фильтрация изображений: свертка с фильтрами верхних и
- 27. Сканирующая туннельная микроскопия Принцип работы сканирующего туннельного микроскопа (СТМ) основан на явлении туннелирования электронов через узкий
- 28. 1 2
- 29. 1. Режим постоянного туннельного тока 2. Режим постоянной высоты
- 31. Зонды для туннельных микроскопов
- 32. Процесс рассекания – растяга при обрезании иглы
- 33. Конструкция сканирующих туннельных микроскопов Измерительная головка СТМ с компенсацией термодрейфа: 1 – основание; 2 – трубчатый
- 34. Перемещение отдельных атомов ксенона вдоль поверхности с помощью иглы СТМ 5 нм
- 44. Аппаратная реализация
- 46. Мультимикроскоп СМС – 2000 в НИЛ ПФиНТЭ
- 47. Вышло так, что высокие параметры микроскопа было достигнуты только при высочайшем качестве применяемых компонентов и материалов,
- 49. Скачать презентацию