МЭМС. Общая схема. Технологии МЭМС. ВЧ ключи

Август 22, 2022

Главная
Разное
МЭМС. Общая схема. Технологии МЭМС. ВЧ ключи

Содержание

2. Что такое МЭМС? Микро – электромеханические системы ( МЭМС) Технология, объединяющая в себе миниатюрные механические и
3. МЭМС Микродатчики Микроактюаторы Микроструктуры Микроэлектроника
4. Применение МЭМС Раздув подушек безопасности Акселерометр Управление струйными головками
5. ТЕХНОЛОГИИ ПРОИЗВОДСТВА МЭМС Пакетная обработка Технологический процесс, который включает в себя добавление или вычитание двухмерных слоев
6. Объемная микрообработка Это процесс, идущий от поверхности материала – основы вглубь, при котором последовательно удаляются ненужные
7. Мокрое травление Удаление материала путём погружение его в ванну с травителеме. ТРАВИТЕЛИ Изотропные: Травят материал с
8. Сухое травление Сухое травление основывается на методах травления на паровой фазе или на плазменной основе с
9. ПОВЕРХНОСТНАЯ МИКРООБРАБОТКА Это процесс, заключающийся последовательных циклах нанесение тонких слоев материала, которые затем с помощью литографии
10. Микрообработка с высоким разрешением Микрообработка с высоким разрешением (HARM) представляет собой процесс, который включает в себя
11. Высокочастотные МЭМС ключи Земля Земля Сигнал h0 Земля Земля S Вид сбоку Вид сверху F1 F2
12. Высокочастотные МЭМС ключи Vкр= 30-50В
14. Скачать презентацию

Слайд 2

Что такое МЭМС?
Микро – электромеханические системы ( МЭМС)
Технология, объединяющая в

себе миниатюрные механические и электромеханические элементы

Размеры МЭМС: 1мкм – 1мм

Возможные названия:
Microsystems Technology (MST)
Micromachines

Слайд 3

МЭМС
Микродатчики
Микроактюаторы
Микроструктуры
Микроэлектроника

Слайд 4

Применение МЭМС
Раздув подушек
безопасности
Акселерометр
Управление струйными
головками

Слайд 5

ТЕХНОЛОГИИ ПРОИЗВОДСТВА МЭМС
Пакетная обработка
Технологический процесс, который включает в себя добавление или

вычитание двухмерных слоев на подложке (обычно кремний) на основе фотолитографии и химического травления.

Слайд 6

Объемная микрообработка
Это процесс, идущий от поверхности материала – основы вглубь,
при

котором последовательно удаляются ненужные участки этого материала, в результате чего остаются механические структуры необходимой формы

Сухое травление

Мокрое травление

Кремний
Кварц

Металлы
Кремний
Пластмассы
Керамика

Слайд 7

Мокрое травление
Удаление материала путём погружение его в ванну с травителеме.
ТРАВИТЕЛИ
Изотропные:
Травят материал

с одинаковой
скоростью во всех направлениях

Анизотропные:
Скорость травления зависит
от ориентации кристалла,
быстрее травит в определённом
направлении.

Слайд 8

Сухое травление
Сухое травление основывается на методах травления на паровой фазе или

на плазменной основе с использованием подходящих реакционноспособных газов или паров, обычно при высоких температурах.

Реактивное ионное травление

Температура травления снижается
1000 С до 150 – 200 С

Скорость травления зависит от времени, концентрации, температуры и материала, подлежащего травлению

Слайд 9

ПОВЕРХНОСТНАЯ МИКРООБРАБОТКА
Это процесс, заключающийся последовательных циклах нанесение тонких слоев материала, которые

затем с помощью литографии и последующего травления приобретает необходимую геометрическую форму

Используется для создания сложных элементов

Возможности данной технологии зависят от
способности удалять жертвенные слои

Слайд 10

Микрообработка с высоким разрешением
Микрообработка с высоким разрешением (HARM) представляет собой процесс,

который включает в себя различные методы микрообработки с последующим литьевым формованием, тиснением и, при необходимости, электроформованием для репликации микроструктур из формовачных деталей.

Методы LIGA:
Литография
Гальванопластика
Литье

Слайд 11

Высокочастотные МЭМС ключи
Земля
Земля
Сигнал
h0
Земля
Земля
S
Вид сбоку
Вид сверху

F1
F2
V

V’ = 0

V

Слайд 12

МЭМС. Общая схема. Технологии МЭМС. ВЧ ключи

Содержание

Что такое МЭМС?Микро – электромеханические системы ( МЭМС) Технология, объединяющая в

МЭМСМикродатчикиМикроактюаторыМикроструктурыМикроэлектроника

Применение МЭМСРаздув подушек безопасности АкселерометрУправление струйнымиголовками

ТЕХНОЛОГИИ ПРОИЗВОДСТВА МЭМСПакетная обработкаТехнологический процесс, который включает в себя добавление или

Объемная микрообработкаЭто процесс, идущий от поверхности материала – основы вглубь, при

Мокрое травлениеУдаление материала путём погружение его в ванну с травителеме.ТРАВИТЕЛИИзотропные: Травят материал

Сухое травлениеСухое травление основывается на методах травления на паровой фазе или

ПОВЕРХНОСТНАЯ МИКРООБРАБОТКАЭто процесс, заключающийся последовательных циклах нанесение тонких слоев материала, которые

Микрообработка с высоким разрешениемМикрообработка с высоким разрешением (HARM) представляет собой процесс,

Высокочастотные МЭМС ключиЗемляЗемляСигналh0ЗемляЗемляSВид сбокуВид сверху F1F2V V’ = 0 V

Высокочастотные МЭМС ключиVкр= 30-50В

Похожие презентации