Микросистемная техника Введение в MЭMС. Часть II

Слайд 2

МИРОВОЙ УРОВЕНЬ Датчики давления Более 500 млн /год Акселерометры Более 90

МИРОВОЙ УРОВЕНЬ

Датчики давления

Более 500 млн /год

Акселерометры

Более 90 млн /месяц

Гироскопы

Более 100 млн

/год

BMW 740i - более 70 МЭМС датчиков

Более 1 млн микрозеркал

Цифровое микрозеркальное устройство фирмы TI

Микротурбогенератор

2,2 млн оборотов / мин
60 Вт

Сопловые устройства струйных принтеров

Более 500 млн /год

Более 0,50 млн /год

РАЗВИТИЕ МИКРОСИСТЕМНОЙ ТЕХНИКИ

Перспектива: замена батарей питания

Слайд 3

РАЗВИТИЕ МИКРОСИСТЕМНОЙ ТЕХНИКИ Число механических компонентов, М Число транзисторов, Т 109

РАЗВИТИЕ МИКРОСИСТЕМНОЙ ТЕХНИКИ

Число механических компонентов, М

Число транзисторов, Т

109

109

Т=107… 108

М=104… 106

Уровень

и прогноз

Рост числа элементов – новое качество

Слайд 4

РАЗВИТИЕ МИКРОСИСТЕМНОЙ ТЕХНИКИ Мировой уровень продаж 2004 год Микросистемная техника 18

РАЗВИТИЕ МИКРОСИСТЕМНОЙ ТЕХНИКИ

Мировой уровень продаж 2004 год
Микросистемная техника
18 млрд

долларов
Микроэлектромеханические системы
6 млрд долларов

Распределение продаж по отраслям

Транспорт 42,9%
Медицина 23,8%
Военная техника 14,3%
Информационные технологии 14,3%
Промышленная автоматизация 4,8%

Слайд 5

МЭМС МОЭМС МЭМС – флюидика Био-МЭМС MOEMS Bio-MEMS Microfluidics

МЭМС

МОЭМС

МЭМС – флюидика

Био-МЭМС

MOEMS

Bio-MEMS

Microfluidics

Слайд 6

МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ Датчик промышленного стандарта Автомобильный датчик Годовой выпуск более

МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ ДАТЧИКИ
ДАВЛЕНИЯ

Датчик промышленного стандарта

Автомобильный датчик

Годовой выпуск более 500 млн

Защитный гель

Пластиковый

корпус