Элементы вакуумной техники

Содержание

Слайд 2

Зависимость проводимости вакуумных систем от степени вакуума Проводимость вакуумных систем

Зависимость проводимости вакуумных систем от степени вакуума

Проводимость вакуумных систем

Слайд 3

Режимы течения газа в зависимости от степени вакуума Проводимость вакуумных систем Примечание: Кn – параметр Кнудсена.

Режимы течения газа в зависимости от степени вакуума

Проводимость вакуумных систем

Примечание:

Кn – параметр Кнудсена.
Слайд 4

Расчет проводимости системы Проводимость вакуумных систем Примечание:

Расчет проводимости системы

Проводимость вакуумных систем

Примечание:

Слайд 5

Основные параметры насосов Вакуумные насосы Sn - быстрота действия; Pпр -

Основные параметры насосов

Вакуумные насосы

Sn - быстрота действия;
Pпр - предельное

давление ( );
- наименьшее рабочее давление ( );
- наибольшее рабочее давление ( );
- наибольшее давление запуска ( );
- наибольшее выпускное давление ( ).

Быстрота действия насоса – это объем газа, удаляемый насосом в единицу времени через входной патрубок насоса

Слайд 6

Зависимость быстроты действия насоса от давления газа на входе в насос Вакуумные насосы

Зависимость быстроты действия насоса от давления газа на входе в насос

Вакуумные

насосы
Слайд 7

Схема пластинчато-роторного насоса Вакуумные насосы

Схема пластинчато-роторного насоса

Вакуумные насосы

Слайд 8

Схема диффузионного (паромасляного) насоса Вакуумные насосы 1 – корпус 2 -

Схема диффузионного (паромасляного) насоса

Вакуумные насосы

1 – корпус
2 - входной патрубок
3 –

выходной патрубок
4 – охладитель
5 – сопло
6 – паропроводе
7 - рабочая жидкость
8 - нагреватель
Слайд 9

Криоконденсационные насосы Вакуумные насосы

Криоконденсационные насосы

Вакуумные насосы

Слайд 10

Криоконденсационные насосы. Оценка дополнительной тепловой нагрузки. Вакуумные насосы

Криоконденсационные насосы.
Оценка дополнительной тепловой нагрузки.

Вакуумные насосы

Слайд 11

Трубка Бурдона. Измерение давления 1 - спиральная трубка 2 – штуцер 3 -зубчатый сектор 4 -стрелка

Трубка Бурдона.

Измерение давления

1 - спиральная трубка
2 – штуцер
3 -зубчатый сектор
4

-стрелка
Слайд 12

Тепловые преобразователи Измерение давления 1 - баллон 2 – термопара 3

Тепловые преобразователи

Измерение давления

1 - баллон
2 – термопара
3 – металлическая нить
4

- патрубок
Слайд 13

Тепловые преобразователи Измерение давления 1 - баллон 2 – термопара 3

Тепловые преобразователи

Измерение давления

1 - баллон
2 – термопара
3 – металлическая нить
4

- патрубок
Слайд 14

Ионизационные преобразователи Измерение давления 1 – коллектор ионов 2 – анодная

Ионизационные преобразователи

Измерение давления

1 – коллектор ионов
2 – анодная сетка
3 –

прямоканальный катод
4 - микроамперметр