Содержание
- 2. Дәріс жоспары 5.1. Массасыздық технология әдістері: 5.1.1. Булық нанолитография. 5.1.2. Нанобаспалы литография. 5.2. Электронды және ионды
- 3. 5.1. Массасыздық технология әдістері 5.1.1. Булық нанолитография Наноқұрылымдарды жұқа бетке орнықтырудың ең оңтайлы әдісін Жер бетіндегі
- 4. АСМ тура мақсатта қолданылған кезде мынадай қиындық туады: қалам ұшында қоршаған ауадан ылғал конденсацияланады да өлшеу
- 5. Булық нанолитография көптеген артықшылыққа ие: сия ретінде көптеген кез-келген нәрсе ала берсе болады, және кез-келген бетке
- 6. 5.1.2. Нанобаспалы литография Нанобаспалы литография (Nanoimprint Lithography) интегралды микросхемаларды жасаудағы керемет технология болып табылады. Алайда, бұған
- 7. 5.2-сурет. Нанобаспалы әдіспен салынған құрылым
- 8. Алайда, бұл әдістің артықшылығы тек қана арзандығы мен жыламдығы емес, бұл техникамен үлкен аудын бетіне де
- 9. 5.2. Электронды және ионды сәуле қазіргі технология құралы іспеттес 5.2.1. Электрон-сәулелі технология Теледидар, электронды микроскоп және
- 10. Электрон-сәулелі балқытуда доғалы балқытудан 20 есеге аз электрон энергиясы кетеді. Қажет затты қозғалыссыз етіп, электрондар ағынын
- 11. 5.3-сурет. Электрон пушканың көрінісі Тағы да ескере кететіні электронды сәуле денеге физикалық ауырлық түсірмей орындалады,бұл морт
- 12. 5.2.2. Ион-сәулелік технология Ион шоғырларының литография саласында қолданылуы қадамдық баспа,кремний,бор,фосфордың бағытталған протон шоғырларын қолданатын жүйелерде болуы
- 13. Фокусталған ион шоғырларын резистердің экспонирленуіне, фотошаблондардың ақауларын түзетуге және де резистсіз литографияда пайдалануға болады. Ионды литографияның
- 15. Скачать презентацию