Содержание
- 2. РЭМ (SEM) — растровый электронный микроскоп. 1. Колонна 2. Камера образцов 3. Вакуумная система 4. Панель
- 4. Источники электронов (электронные пушки) Источники с термоэлектронной эмиссией (ТЭП) Ускоряющее напряжение на аноде может варьироваться от
- 5. В качестве термоэмиссионных катодов используются V-образные катоды из W проволоки либо монокристальные катоды из гексаборида лантана
- 6. Источники с полевой эмиссией (автоэмиссионные источники, АЭП, FEG) Автоэмиссионные электронные пушки используют острийный катод, вырезанный из
- 7. Типы катодов W LaB6 Вольфрамовый катод с полевой эмиссией Увеличивается разрешение, стоимость и время службы.
- 8. Электронно-оптическая система РЭМ Отклоняющие катушки электронной пушки – наклон и смещение пучка для его юстировки Конденсорная
- 9. Конденсорная и объективная линза Конденсорная линза — электро-магнитная катушка, основная задача которой уменьшение диаметра электронного зонда.
- 10. Дефекты электромагнитных линз Аберрациями называют погрешности (искажения) изображений, создаваемых реальной оптической системой и проявляющихся в неточном
- 11. Дефекты электромагнитных линз Хроматическая аберрация возникает вследствие того, что попадающие в линзу электроны обладают разной энергией,
- 12. Диафрагмы помни о масштабе! в реальности d = 10…300 мкм β ~ 1…5о Апертура (диафрагма) –
- 13. Отклоняющие (сканирующие) катушки и стигматоры Астигматизм можно скорректировать, используя стигматоры, которые представляют собой небольшие октупольные линзы,
- 15. Скачать презентацию