Контроль формы оптических поверхностей пробным стеклом, на интерферометре Физо и на неравноплечем лазерном интерферометре

Сентябрь 15, 2022

Главная
Физика
Контроль формы оптических поверхностей пробным стеклом, на интерферометре Физо и на неравноплечем лазерном интерферометре

Содержание

2. Темы лекции Контроль формы оптических поверхностей пробным стеклом, на интерферометре Физо и на неравноплечем лазерном интерферометре.
3. Зачем нужно контролировать форму поверхности? Для минимизации искажений изображения Точность формы точность волнового фронта
4. Виды ошибок Общая ошибка – отклонение диаметра всей поверхности от заданного Местная ошибка – отклонение части
5. Пробное стекло 1 полоса (кольцо) – отклонение в λ/2 (0,55 мкм / 2 = 0,28 мкм)
7. Непосредственное измерение местных ошибок плоских деталей Профилометр Чувствительный датчик с головкой, касающейся поверхности детали Применяется для
11. Теневой метод Фуко (нож)
13. Метод Гартмана
14. Интерферометр Физо
16. Неравноплечий лазерный интерферометр
18. Микроинтерферометр
20. Скачать презентацию

Слайд 2

Темы лекции
Контроль формы оптических поверхностей пробным стеклом, на интерферометре Физо и

на неравноплечем лазерном интерферометре.

Слайд 3

Зачем нужно контролировать форму поверхности?
Для минимизации искажений изображения
Точность формы <=> точность

волнового фронта

Слайд 4

Виды ошибок
Общая ошибка – отклонение диаметра всей поверхности от заданного
Местная ошибка

– отклонение части поверхности
Измеряется в количестве интерференционных колец (λ/4)

Слайд 5

Пробное стекло
1 полоса (кольцо) – отклонение в λ/2 (0,55 мкм /

2 = 0,28 мкм)

Слайд 6

Слайд 7

Непосредственное измерение местных ошибок плоских деталей
Профилометр
Чувствительный датчик с головкой, касающейся поверхности

детали
Применяется для оценки шероховатости, а также оценки искривления плоской поверхности
Широко применяется для оценки поверхности кремниевых пластин в микроэлектронике

Слайд 8

Слайд 9

Слайд 10

Слайд 11

Теневой метод Фуко (нож)

Слайд 12

Слайд 13

Метод Гартмана

Слайд 14

Интерферометр Физо

Слайд 15

Слайд 16

Неравноплечий лазерный интерферометр

Слайд 17

Слайд 18

Микроинтерферометр