Радиационная стойкость материалов

Содержание

Слайд 2

Общие сведения Радиационная стойкость – способность материалов сохранять исходный химический состав,

Общие сведения

Радиационная стойкость – способность материалов сохранять исходный химический состав, структуру

и свойства в процессе или после воздействия ионизирующих излучений.

Ядро атома испускает гамма-квант.

1/20

Слайд 3

Источники ионизирующего излучения 2/20

Источники ионизирующего излучения

2/20

Слайд 4

Единицы измерения 3/20

Единицы измерения

3/20

Слайд 5

Действие ионизирующего излучения Схемы радиационных нарушений: а - ионизация атома; б

Действие ионизирующего излучения

Схемы радиационных нарушений: а - ионизация атома;
б -

кристаллическая решетка до облучения; в - образование радиационного дефекта в кристалле; 1 - нормальное положение атома; 2 - атом смещен в междоузлие; 3 - образовавшаяся вакансия; 4 - бомбардирующая частица

4/20

Слайд 6

Испытания на радиационную стойкость Ядерные реакторы Устройство циклотрона: 1 — место

Испытания на радиационную стойкость

Ядерные реакторы

Устройство циклотрона: 1 — место поступления частиц, 2 —

траектория их движения, 3 — электроды, 4 — источник переменного напряжения. Магнитное поле направлено перпендикулярно плоскости рисунка

3

4

5

6

Схематическое устройство гетерогенного реактора на тепловых нейтронах: 1 — Управляющий стержень; 2 — Радиационная защита; 3 — Теплоизоляция; 4 — Замедлитель; 5 — Ядерное топливо; 6 — Теплоноситель.

2

1

5/20

Слайд 7

Компании, проводящие испытания на радиационную стойкость 6/20 АО «РНИИ «Электронстандарт» (г.

Компании, проводящие испытания на радиационную стойкость

6/20

АО «РНИИ «Электронстандарт» (г. Санкт –

Петербург)

ФГУП НИИР (г. Лыткарино)

ПИЯФ РАН (г. Гатчина)

ОИЯИ (г. Дубна)

ФГУП ВНИИА (г. Москва)

(г. Санкт – Петербург)

АО «ЭНПО СПЭЛС» (г. Москва)

Слайд 8

Испытания изделий полупроводниковой электроники на радиационную стойкость 7/20

Испытания изделий полупроводниковой электроники на радиационную стойкость

7/20

Слайд 9

8/20

8/20

Слайд 10

Воздействие на конструкционные материалы Минимальные уровни облучения, вызывающие заметные (20—30%) изменения

Воздействие на конструкционные материалы

Минимальные уровни облучения, вызывающие заметные (20—30%) изменения свойств

неорганических материалов.

Минимальные уровни облучения, вызывающие заметные изменения свойств органических материалов

Наиболее значимыми типами радиационных повреждений является:
разрушение кристаллической решетки вследствие выбивания атомов из узлов;
ионизация диэлектриков;
изменение химического состава веществ вследствие ядерных реакций.

9/20

Слайд 11

Воздействие на полупроводники Вакансии, образованные прошедшим пучком частиц Схематичное отображение воздействия

Воздействие на полупроводники

Вакансии, образованные прошедшим пучком частиц

Схематичное отображение воздействия радиации на

кремний, легированный фосфором

10/20

Образование лавины электронов

Слайд 12

Воздействие радиации на интегральные схемы 11/20 Механизм “защелкивания”

Воздействие радиации на интегральные схемы

11/20

Механизм “защелкивания”

Слайд 13

Рис. 2. Пример воздействия иона на n-канальный транзистор 12/20 Рис. 3.

Рис. 2. Пример воздействия иона на n-канальный транзистор

12/20

Рис. 3. Возникновение сбоя

переключения

Рис. 1. Влияние ионизирующего излучения на КМОП-транзистор n-типа

Слайд 14

Повышение радиационной стойкости 13/20

Повышение радиационной стойкости

13/20

Слайд 15

Способ, получивший наибольшее распространение, — технология «кремний на диэлектрике». Кремний на

Способ, получивший наибольшее распространение, — технология «кремний на диэлектрике».

Кремний

на изоляторе

Рис. 5. Паразитные емкости в технологиях монолитного кремния и КНИ

Рис. 4. КМОП-технология кремний на диэлектрике

14/20

Слайд 16

Ионное внедрение Рис. 6. Схема ионного внедрения SIMOX (англ. Separation by IMplantation of OXygen) 15/20

Ионное внедрение

Рис. 6. Схема ионного внедрения

SIMOX (англ. Separation by IMplantation of

OXygen)

15/20

Слайд 17

Сращивание пластин Рис.7. Общая технологическая схема сращивания пластин: а - исходные

Сращивание пластин

Рис.7. Общая технологическая схема сращивания пластин:
а - исходные пластины;

б - сращивание приборной и опорной пластин; в - удаление излишней части приборной пластины; г - готовая продукция;
А – приборная пластина (полированная окисленная пластина из монокристаллического кремния или кремниевая структура); Б – опорная пластина (монокристаллическая или аморфная пластина из полупроводника (кремния), стекла, керамики, металла, либо аморфная структура); 1 – приборный слой; 2 – слой оксида кремния.

а)

б)

в)

г)

16/20

Слайд 18

Управляемый скол Технология управляемого скола, или Smart Cut, объединяет в себе

Управляемый скол

Технология управляемого скола, или Smart Cut, объединяет в себе черты

технологий ионного внедрения и сращивание пластин.

Рис.8. Технологическая схема smart-cut: А – приборная пластина (полированная окисленная пластина кремния); B – опорная пластина (полированная пластина кремния).

17/20

Слайд 19

Эпитаксия Рис. 9. Этапы технологии UltraCMOS выращивания структур КНС. а) Эпитаксия

Эпитаксия

Рис. 9. Этапы технологии UltraCMOS выращивания структур КНС.
а) Эпитаксия кремния на

сапфире; переходной слой содержит дефекты двойникования. б) Облучение ионами кремния и аморфизация дефектного слоя.
в) Твердофазная эпитаксия аморфного слоя и последующее окисление поверхности.

Ионы кремния

а)

б)

в)

18/20

Слайд 20

Заключение В связи с активным развитием ядерной промышленности, космонавтики, степени сложности

Заключение

В связи с активным развитием ядерной промышленности, космонавтики, степени сложности и

количества летательных аппаратов, проблема радиационной стойкости электронных компонентов не может остаться без внимания. Несмотря на то, что современные методы защиты электроники от ионизирующего излучения на данном этапе позволяют эффективно справляться с этой проблемой, экономическая составляющая реализации этих методов во многом сдерживает развитие космической программы.
Возможно, массовый переход на другие типы носителей памяти и оптоэлектронику в будущем поможет избежать негативных последствий воздействия радиации на электронно-компонентную базу летательных аппаратов и ядерных реакторов.

19/20