Технологические процессы и оборудование микроэлектроники. Выращивание кристаллов, ориентировка, резка, полировка
Содержание
- 2. Введение……………………………………………………………………………………………………………………….3 Основные этапы технологического процесса производства п/п структур…………………4 Выращивание кристаллов…………………………………………………………………………………………...5 Ориентировка кристаллов………………………………………………………………………………………….10 Резка кристаллов………………………………………………………………………………………………………..11 Полировка кристаллов……………………………………………………………………………………………….13
- 3. Введение 3 С момента появления микроэлектроники сохраняется тенденция к уменьшению размеров полупроводниковых структур, что способствует улучшению
- 4. Основные этапы технологического процесса производства п/п структур 4 Подготовка подложки выращивание кристалла ориентировка резка полировка 2.
- 5. Выращивание кристаллов 5 Выращивание монокристаллов осуществляется из: газов, расплавов, растворов. Различные способы выращивания кристаллов - это
- 6. Выращивание кристаллов 6 Метод Чохральского. Метод было разработан польским химиком Яном Чохральским и первоначально использовался им
- 7. Выращивание кристаллов 7 Преимущества метода: отсутствие прямого контакта между стенками тигля и кристаллом, что способствует получению
- 8. Выращивание кристаллов 8 Метод зонной плавки. Метод является разновидностью направленной кристаллизации, от которой отличается тем, что
- 9. Выращивание кристаллов 9 Одно из преимуществ метода зонной плавки состоит в простоте его исполнения. Аппаратура состоит
- 10. Ориентировка кристаллов 10 Ориентировка кристалла называют положение кристаллографических осей решетки кристалла или зерна относительно внешних координатных
- 11. Резка кристаллов 11 Для формирования полупроводниковых подложек выращенный монокристалл разрезают по нормали к его оси. Существует
- 12. Резка кристаллов 12 Рисунок 5 - установки для резки монокристаллов: слева - алмазным диском с режущей
- 13. Полировка кристаллов 13 Разрезанные пластин имеют множество поверхностных повреждений и неровностей. Для их устранения пластины шлифуются
- 15. Скачать презентацию