Контроль формы оптических поверхностей пробным стеклом, на интерферометре Физо и на неравноплечем лазерном интерферометре.

Сентябрь 3, 2022

Главная
Алгебра
Контроль формы оптических поверхностей пробным стеклом, на интерферометре Физо и на неравноплечем лазерном интерферометре.

Содержание

2. Темы лекции Контроль формы оптических поверхностей пробным стеклом, на интерферометре Физо и на неравноплечем лазерном интерферометре.
3. Зачем нужно контролировать форму поверхности? Для минимизации искажений изображения
4. Виды ошибок Общая ошибка – отклонение диаметра всей поверхности от заданного Местная ошибка – отклонение части
5. Пробное стекло 1 полоса (кольцо) – отклонение в λ/2 (0,55 мкм / 2 = 0,28 мкм)
7. Непосредственное измерение местных ошибок плоских деталей Профилометр Чувствительный датчик с головкой, касающейся поверхности детали Применяется для
10. Интерферометр Физо
12. Неравноплечий лазерный интерферометр
15. Скачать презентацию

Слайд 2

Темы лекции
Контроль формы оптических поверхностей пробным стеклом, на интерферометре Физо и

на неравноплечем лазерном интерферометре.

Слайд 3

Зачем нужно контролировать форму поверхности?
Для минимизации искажений изображения

Слайд 4

Виды ошибок
Общая ошибка – отклонение диаметра всей поверхности от заданного
Местная ошибка

– отклонение части поверхности
Измеряется в количестве интерференционных колец (λ/4)

Слайд 5

Пробное стекло
1 полоса (кольцо) – отклонение в λ/2 (0,55 мкм /

2 = 0,28 мкм)

Слайд 6

Слайд 7

Непосредственное измерение местных ошибок плоских деталей
Профилометр
Чувствительный датчик с головкой, касающейся поверхности

детали
Применяется для оценки шероховатости, а также оценки искривления плоской поверхности
Широко применяется для оценки поверхности кремниевых пластин в микроэлектронике

Слайд 8

Слайд 9

Слайд 10

Интерферометр Физо

Слайд 11

Слайд 12

Неравноплечий лазерный интерферометр

Слайд 13