Расчет коэффициента распыления в модели Зигмунда. Эмпирические формулы расчета коэффициента распыления
Содержание
- 2. Лекция 7 Слайд 2 При упругом рассеянии ионов пучка на атомах облучаемого образца, последние приобретают энергию
- 3. Лекция 7 Слайд 3 Так как углы отдачи могут иметь различные значения, то часть выбитых атомов
- 4. Лекция 7 Слайд 4 Интегральной характеристикой процесса распыления является коэффициент распыления Y = Nрасп /N0+, где
- 5. Лекция 7 Слайд 5 Модель Зикмунда, основные положения которой следующие. Средний пробег иона в твердом теле
- 6. Лекция 7 Слайд 6 В этих предположениях Вылететь из образца в основном могут лишь атомы, образовавшиеся
- 7. Лекция 7 Слайд 7 Полуэмпирическая формула Матсунами, учитывающая экспериментальные значения коэффициента распыления для разных ионов разных
- 8. Лекция 7 Слайд 8 Так как основной вклад в зависимость Y(E0) вносит зависимость Sn(E0), то коэффициент
- 9. Лекция 7 Слайд 9 Энергетический спектр распыленных атомов Энергетический спектр dNрасп /dE при облучении медного образца
- 10. Лекция 7 Слайд 10 В случае облучения образца по нормали к поверхности угловое распределение распыленных атомов
- 11. Лекция 7 Слайд 11 В случае наклонного облучения образца, можно считать, что количество распыленных атомов пропорционально
- 12. Лекция 7 Слайд 12 Эффект распыления лежит в основе ионного травления образца. Ионный пучок с плотностью
- 13. Лекция 7 Слайд 13 Обычно ионное травление осуществляют с помощью ионов аргона с энергией 5-10 кэВ,
- 14. Лекция 7 Слайд 14 Процесс распыления, когда коэффициент распыления Y ≥ 1 и флюенс облучения F
- 15. Лекция 7 Слайд 15 Функции ошибок Сделаем замену переменной при при имеем
- 17. Скачать презентацию