Содержание
- 2. Одной из наиболее распространенных разновидностей «сканирующей зондовой микроскопии», является атомно-силовая микроскопия
- 3. Первый микроскоп такого типа был сконструирован Г. Биннигом, Х. Гербером и С. Квайтом в 1986 году,
- 4. Действительно, если подвести зонд к образцу на расстояние в несколько ангстрем, то между атомами, образующими острие,
- 5. Использование «пьезодвигателей» и атомно-острых зондов позволяет добиться атомного разрешения АСМ в высоком вакууме
- 6. Атомно-силовая микроскопия позволяет обрабатывать образцы в атмосфере, однако, главным её недостатком является отсутствие одновременной информации о
- 7. Атомно-силовой микроскоп (англ. AFM - atomic force microscope) — сканирующий зондовый микроскоп высокого разрешения, основанный на
- 8. Кантилеверы разделяются на жёсткие и мягкие, — по длине балки, а характеризуется это резонансной частотой колебаний
- 9. Схема регистрации отклонения лазерного луча от начального откалиброванного положения
- 10. Показано как отклоняется лазер относительно фотодиода при искривлении кантилевера.
- 11. Сканирование поверхности может происходить двумя способами, — сканирование кантилевером и сканировение подложкой. Если в первом случае
- 12. Кантилевер непосредственно связан с четырёхобкладочной пьезотрубкой, подавая напряжение на противоположные обкладки, можно соответственно менять изгиб трубки,
- 13. Пьезотрубка, которая собственно и является главным элементом сканера: у неё есть 4 обкладки, которые парами отвечают
- 14. Принцип действия пьезоэлемента управляющего сканированием
- 15. Существуют контактный, безконтактный и полуконтактный или резонансный режимы сканирования поверхности. Контактный метод заключается в том, что
- 16. Преимущества и недостатки АСМ позволяет получить истинно трёхмерный рельеф поверхности. Кроме того, непроводящая поверхность, рассматриваемая с
- 17. Для получения АСМ-скана, как правило, требуется несколько минут. Достаточно медленная скорость развёртки АСМ часто приводит к
- 18. Изображения, полученные на АСМ, могут быть искажены гистерезисом пьезокерамического материала сканера (Lapshin, 1995), а также перекрёстными
- 19. Трехмерное топографическое и двумерное фазовое изображения пористого кремния.
- 23. Современная атомно-силовая микроскопия активно используется во всем мире для исследования как полупроводников, так и любых других
- 25. Скачать презентацию