Перспективы развития многоканальных лазерных генераторов изображений концерна Планар, предназначенных для производства СБИС
Содержание
- 2. Принцип развертки световых пятен
- 3. Оптическая схема проекционного канала.
- 4. Электрооптический дефлектор Электрооптический затвор
- 5. Сравнительные характеристики проекционного канала
- 6. Формула распределения энергии в пятне
- 7. Однородная сетка Белые пятна – основная сетка, черные – вложенная сетка Градация интенсивности пикселя (в серых
- 8. «Вектор», «Открывающий вектор», «Закрывающий вектор», проекция вектора на сетку пикселей Один открывающий вектор, и два закрывающих
- 9. Неоднородная сетка Белые пятна – основная сетка, черные – вложенная сетка
- 10. Аттестация проекционного канала по положению пятен Направление сканирования пятна относительно непрозрачных штрихов при аттестации по X
- 11. Аттестация проекционного канала по положению по Y Направление сканирования пятна относительно непрозрачных штрихов при аттестации по
- 12. Аттестация проекционного канала по интенсивности Пример сигнала аттестации проекционного канала по интенсивности
- 13. Прямоугольник в неоднородной сетке пикселей
- 14. Расчет неоднородной сетки для левых границ Количество шагов сканирования – ( размер пикселя по X )/
- 15. Расчет неоднородной сетки для правых границ Количество шагов сканирования – ( размер пикселя по X )/
- 16. Расчет неоднородной сетки для нижних границ Количество шагов сканирования – ( ширина полосы ) / (дискрет)
- 17. Расчет неоднородной сетки для нижних границ Количество шагов сканирования – ( ширина полосы ) / (дискрет)
- 18. Математическое описание сетки пикселей Массивом из 256 функций Гаусса PG i каждая со след. параметрами Описанием
- 19. Формирование массива параметров пятен Гаусса (PG) Аттестация по положению X Аттестация по положению Y Аттестация по
- 20. Схема преобразования массива пятен Гаусса (PG) в массив с описанием сетки дискрет (SD) Dx, Wx, F0,
- 21. Меню юстировки проекционного канала
- 22. Меню юстировки команда “Масштаб”
- 23. Меню юстировки команда “Масштаб”, рекомендации по использованию корректоров при установке каналов по координате Y
- 24. Меню юстировки команда “Масштаб”, визуализатор сигнала
- 25. Меню юстировки команда “Фокус1”
- 26. Меню юстировки команда “Фокус16”
- 27. Меню юстировки команда “Затвор”
- 28. Меню юстировки команда “Дефлектор”
- 29. Меню юстировки команда “16*16”
- 30. Меню юстировки команда “Интенсивность”
- 31. Меню юстировки команда “Проверка интенсивности”
- 32. Меню юстировки команда “Настройка”
- 33. Проект шаблона.
- 34. Проект шаблона. Участки топологии
- 35. Аттестация координатного стола Аттестация координатной системы предназначена для расчета и устранения погрешностей расположения элементов топологии, связанных
- 36. Последовательность действий в цикле экспонирования 1. Автоматическая аттестация проекционного канала по интенсивности. 2. Измерение масштаба координатной
- 37. Пример искажения изображения. В неоднородной сетке пикселей. Без коррекции по результатам аттестации. Вертикальные линии шириной 0.8мкм
- 38. Пятно сдвинуто по координате Х на 0.2мкм Неровность края из-за погрешности расположения пятна по X. Без
- 39. Неровность края. Однородность размера. Пятно сдвинуто по координате У на 0.1мкм Без коррекции по результатам аттестации.
- 40. Погрешность неровности края и однородности размера вызванная неоднородностью интенсивности каналов. Без коррекции по результатам аттестации. Интенсивность
- 41. Структура схема взаимодействия модулей управляющих компонентов ЭМ-5189
- 42. Структура комплекса управляющего
- 43. Структура внешнего программного обеспечения
- 44. Технология химической обработки заготовки
- 45. Вертикальные линии шириной 1мкм. Фото выполнено на оптическом микроскопе Микро 200 с увеличением 3000крат
- 46. Вертикальные линии шириной 1мкм. Фото выполнено на оптическом микроскопе Микро 200 с увеличением 3000крат
- 47. Фото выполнено на оптическом микроскопе Микро 200 с увеличением 3000крат Вертикальные линии шириной 1мкм.
- 48. Вертикальные линии шириной от 0.6 до 1мкм. Фото выполнено на оптическом микроскопе Микро 200 с увеличением
- 49. Вертикальные линии шириной от 0.6 до 1мкм. Фото выполнено на оптическом микроскопе Микро 200 с увеличением
- 50. Вертикальные линии шириной от 0.6 до 1мкм. Фото выполнено на оптическом микроскопе Микро 200 с увеличением
- 51. Топологические элементы шириной 0.4мкм. Фото выполнено на оптическом микроскопе Микро 200 с увеличением 3000крат
- 52. Топологические элементы шириной 6.4мкм. Фото выполнено на оптическом микроскопе Микро 200 с увеличением 3000крат
- 53. Вертикальная линия шириной 2мкм. Фото выполнено на SEM с увеличением 15000крат
- 54. Вертикальная линия шириной 0.8мкм. Фото выполнено на SEM с увеличением 15000крат
- 55. Вертикальная линия шириной 1мкм. Фото выполнено на SEM с увеличением 15000крат
- 57. Скачать презентацию