Перспективы развития многоканальных лазерных генераторов изображений концерна Планар, предназначенных для производства СБИС

Содержание

Слайд 2

Принцип развертки световых пятен

Принцип развертки световых пятен

Слайд 3

Оптическая схема проекционного канала.

Оптическая схема проекционного канала.

Слайд 4

Электрооптический дефлектор Электрооптический затвор

Электрооптический дефлектор

Электрооптический затвор

Слайд 5

Сравнительные характеристики проекционного канала

Сравнительные характеристики проекционного канала

Слайд 6

Формула распределения энергии в пятне

Формула распределения энергии в пятне

Слайд 7

Однородная сетка Белые пятна – основная сетка, черные – вложенная сетка

Однородная сетка

Белые пятна – основная сетка, черные – вложенная сетка

Градация

интенсивности пикселя (в серых тонах) соответствует отношению пересечения площади пикселя и площади фигуры, деленная на площадь пикселя.
Слайд 8

«Вектор», «Открывающий вектор», «Закрывающий вектор», проекция вектора на сетку пикселей Один

«Вектор», «Открывающий вектор», «Закрывающий вектор», проекция вектора на сетку пикселей

Один

открывающий вектор, и два закрывающих вектора
Слайд 9

Неоднородная сетка Белые пятна – основная сетка, черные – вложенная сетка

Неоднородная сетка

Белые пятна – основная сетка, черные – вложенная сетка

Слайд 10

Аттестация проекционного канала по положению пятен Направление сканирования пятна относительно непрозрачных штрихов при аттестации по X

Аттестация проекционного канала по положению пятен

Направление сканирования пятна относительно непрозрачных штрихов

при аттестации по X
Слайд 11

Аттестация проекционного канала по положению по Y Направление сканирования пятна относительно

Аттестация проекционного канала по положению по Y

Направление сканирования пятна относительно непрозрачных

штрихов при аттестации по X
Слайд 12

Аттестация проекционного канала по интенсивности Пример сигнала аттестации проекционного канала по интенсивности

Аттестация проекционного канала по интенсивности

Пример сигнала аттестации проекционного канала по интенсивности

Слайд 13

Прямоугольник в неоднородной сетке пикселей

Прямоугольник в неоднородной сетке пикселей

Слайд 14

Расчет неоднородной сетки для левых границ Количество шагов сканирования – (

Расчет неоднородной сетки для левых границ

Количество шагов сканирования – ( размер

пикселя по X )/ (дискрет)

Направление сканирования полуплоскости

Слайд 15

Расчет неоднородной сетки для правых границ Количество шагов сканирования – (

Расчет неоднородной сетки для правых границ

Количество шагов сканирования – ( размер

пикселя по X )/ (дискрет)

Направление сканирования

Слайд 16

Расчет неоднородной сетки для нижних границ Количество шагов сканирования – (

Расчет неоднородной сетки для нижних границ

Количество шагов сканирования – ( ширина

полосы ) / (дискрет)

Направление сканирования полуплоскости

Слайд 17

Расчет неоднородной сетки для нижних границ Количество шагов сканирования – (

Расчет неоднородной сетки для нижних границ

Количество шагов сканирования – ( ширина

полосы ) / (дискрет)

Направление сканирования полуплоскости

Слайд 18

Математическое описание сетки пикселей Массивом из 256 функций Гаусса PG i

Математическое описание сетки пикселей

Массивом из 256 функций Гаусса PG i каждая

со след. параметрами

Описанием сетки дискрет SD [ Ld. Rg. Ug. Dg.]

DP – поправка на номер пикселя
DI - поправка на код интенсивн.

Слайд 19

Формирование массива параметров пятен Гаусса (PG) Аттестация по положению X Аттестация

Формирование массива параметров пятен Гаусса (PG)

Аттестация по положению X

Аттестация по положению

Y

Аттестация по интенсивности

Расчет параметров пятен в направлении оси X

Расчет параметров пятен в направлении оси Y

Расчет коэффициентов зависимости интенсивности от напряжения

Dx, Wx, F0, S, Pu, Al, Ar, Dy, Wy
Файл APC.GS содержащий 256 пятен по Гауссу

Слайд 20

Схема преобразования массива пятен Гаусса (PG) в массив с описанием сетки

Схема преобразования массива пятен Гаусса (PG) в массив с описанием сетки

дискрет (SD)

Dx, Wx, F0, S, Pu, Al, Ar, Dy, Wy
Файл APC.GS содержащий 256 пятен по Гауссу

Модуль компиляции границ

Модуль интерполяции векторов

Файл формата MKN с описанием эталонного изделия

Формирователь напряжений

ЭО Затвор

Слайд 21

Меню юстировки проекционного канала

Меню юстировки проекционного канала

Слайд 22

Меню юстировки команда “Масштаб”

Меню юстировки команда “Масштаб”

Слайд 23

Меню юстировки команда “Масштаб”, рекомендации по использованию корректоров при установке каналов по координате Y

Меню юстировки команда “Масштаб”, рекомендации по использованию корректоров при установке каналов

по координате Y
Слайд 24

Меню юстировки команда “Масштаб”, визуализатор сигнала

Меню юстировки команда “Масштаб”, визуализатор сигнала

Слайд 25

Меню юстировки команда “Фокус1”

Меню юстировки команда “Фокус1”

Слайд 26

Меню юстировки команда “Фокус16”

Меню юстировки команда “Фокус16”

Слайд 27

Меню юстировки команда “Затвор”

Меню юстировки команда “Затвор”

Слайд 28

Меню юстировки команда “Дефлектор”

Меню юстировки команда “Дефлектор”

Слайд 29

Меню юстировки команда “16*16”

Меню юстировки команда “16*16”

Слайд 30

Меню юстировки команда “Интенсивность”

Меню юстировки команда “Интенсивность”

Слайд 31

Меню юстировки команда “Проверка интенсивности”

Меню юстировки команда “Проверка интенсивности”

Слайд 32

Меню юстировки команда “Настройка”

Меню юстировки команда “Настройка”

Слайд 33

Проект шаблона.

Проект шаблона.

Слайд 34

Проект шаблона. Участки топологии

Проект шаблона. Участки топологии

Слайд 35

Аттестация координатного стола Аттестация координатной системы предназначена для расчета и устранения

Аттестация координатного стола

Аттестация координатной системы предназначена для расчета и устранения погрешностей

расположения элементов топологии, связанных с ошибками изготовления зеркал координатной системы.
Возможный вид искажений координатной системы приведен на Рисунке А. Сплошной линией показано искажение зеркала координаты X.
Пунктирной линией показано искажение зеркала координаты Y, состоящее из общей неплоскосности зеркала и местной ошибки изготовления зеркала. Кроме искажений зеркал есть и неперпендикулярность их установки. Одной клетке на чертеже соответствует ошибка 0.3 мкм.
После проведения аттестации устраняются следующие искажения координатной системы:
общие неплоскосности зеркал X и Y;
неперпендикулярность установки зеркал;
местные ошибки изготовления зеркал - уменьшаются.
Вид не скомпенсированных погрешностей после введения коррекции приведен на Рисунке Б.
Слайд 36

Последовательность действий в цикле экспонирования 1. Автоматическая аттестация проекционного канала по

Последовательность действий в цикле экспонирования

1. Автоматическая аттестация проекционного канала по интенсивности.
2.

Измерение масштаба координатной системы.
3. Последовательное изготовление участков топологии.
4. Изготовление маркировки.
Слайд 37

Пример искажения изображения. В неоднородной сетке пикселей. Без коррекции по результатам

Пример искажения изображения. В неоднородной сетке пикселей.

Без коррекции по результатам аттестации.

Вертикальные

линии шириной 0.8мкм

С коррекцией по результатам аттестации.

Слайд 38

Пятно сдвинуто по координате Х на 0.2мкм Неровность края из-за погрешности

Пятно сдвинуто по координате Х на 0.2мкм

Неровность края из-за погрешности расположения

пятна по X.

Без коррекции по результатам аттестации.

С коррекцией по результатам аттестации.

Слайд 39

Неровность края. Однородность размера. Пятно сдвинуто по координате У на 0.1мкм

Неровность края. Однородность размера.

Пятно сдвинуто по координате У на 0.1мкм

Без коррекции

по результатам аттестации.

С коррекцией по результатам аттестации.

Слайд 40

Погрешность неровности края и однородности размера вызванная неоднородностью интенсивности каналов. Без

Погрешность неровности края и однородности размера вызванная неоднородностью интенсивности каналов.

Без коррекции

по результатам аттестации.

Интенсивность пятна 80% от остальных

С коррекцией по результатам аттестации.

Слайд 41

Структура схема взаимодействия модулей управляющих компонентов ЭМ-5189

Структура схема взаимодействия модулей управляющих компонентов ЭМ-5189

Слайд 42

Структура комплекса управляющего

Структура комплекса управляющего

Слайд 43

Структура внешнего программного обеспечения

Структура внешнего программного обеспечения

Слайд 44

Технология химической обработки заготовки

Технология химической обработки заготовки

Слайд 45

Вертикальные линии шириной 1мкм. Фото выполнено на оптическом микроскопе Микро 200 с увеличением 3000крат

Вертикальные линии шириной 1мкм.

Фото выполнено на оптическом микроскопе Микро 200

с увеличением 3000крат
Слайд 46

Вертикальные линии шириной 1мкм. Фото выполнено на оптическом микроскопе Микро 200 с увеличением 3000крат

Вертикальные линии шириной 1мкм.

Фото выполнено на оптическом микроскопе Микро 200 с

увеличением 3000крат
Слайд 47

Фото выполнено на оптическом микроскопе Микро 200 с увеличением 3000крат Вертикальные линии шириной 1мкм.

Фото выполнено на оптическом микроскопе Микро 200 с увеличением 3000крат

Вертикальные

линии шириной 1мкм.
Слайд 48

Вертикальные линии шириной от 0.6 до 1мкм. Фото выполнено на оптическом

Вертикальные линии шириной от 0.6 до 1мкм.

Фото выполнено на оптическом микроскопе

Микро 200 с увеличением 3000крат
Слайд 49

Вертикальные линии шириной от 0.6 до 1мкм. Фото выполнено на оптическом

Вертикальные линии шириной от 0.6 до 1мкм.

Фото выполнено на оптическом микроскопе

Микро 200 с увеличением 3000крат
Слайд 50

Вертикальные линии шириной от 0.6 до 1мкм. Фото выполнено на оптическом

Вертикальные линии шириной от 0.6 до 1мкм.

Фото выполнено на оптическом микроскопе

Микро 200 с увеличением 3000крат
Слайд 51

Топологические элементы шириной 0.4мкм. Фото выполнено на оптическом микроскопе Микро 200 с увеличением 3000крат

Топологические элементы шириной 0.4мкм.

Фото выполнено на оптическом микроскопе Микро 200 с

увеличением 3000крат
Слайд 52

Топологические элементы шириной 6.4мкм. Фото выполнено на оптическом микроскопе Микро 200 с увеличением 3000крат

Топологические элементы шириной 6.4мкм.

Фото выполнено на оптическом микроскопе Микро 200 с

увеличением 3000крат
Слайд 53

Вертикальная линия шириной 2мкм. Фото выполнено на SEM с увеличением 15000крат

Вертикальная линия шириной 2мкм.

Фото выполнено на SEM с увеличением 15000крат


Слайд 54

Вертикальная линия шириной 0.8мкм. Фото выполнено на SEM с увеличением 15000крат

Вертикальная линия шириной 0.8мкм.

Фото выполнено на SEM с увеличением 15000крат


Слайд 55

Вертикальная линия шириной 1мкм. Фото выполнено на SEM с увеличением 15000крат

Вертикальная линия шириной 1мкм.

Фото выполнено на SEM с увеличением 15000крат