Химические лазеры
Способы получения исходных компонентов
атомарный фтор может быть получен при
столкновениях молекулы
SF6 (или NF3, UF6) с электроном в электрическом разряде
диссоциация молекул фтора и водорода на атомы в результате
облучения УФ излучением
Использование смеси, состоящей только из молекул фтора и водорода,
опасно вследствие ее высокой взрывоопасности. Поэтому в исходные
газовые смеси обычно добавляется молекулярный кислород
Источники УФ излучения: кварцевые лампы и искровые разряды
Электрический разряд используется, как правило, в импульсных лазерах,
а УФ воздействие чаще применяется для обеспечения работы лазера в
непрерывном режиме
Эффективность УФ диссоциации выше по сравнению с использованием
электрического разряда
В электрическом разряде удается достигать заметно более коротких времен
диссоциации