Исследование материалов и покрытий методом атомно-силовой микроскопии

Содержание

Слайд 2

Физические основы метода АСМ Потенциал Леннарда-Джонса U0 – значение энергии в

Физические основы метода АСМ

Потенциал Леннарда-Джонса

U0 – значение энергии в минимуме,

h0 – равновесное расстояние между атомами

Энергия взаимодействия

nS(h) и nP(h΄) – плотности атомов в материале образца и зонда

Сила зонд - образец

Слайд 3

Атомно-силовой микроскоп NTEGRA Фирма NT-MDT, Зеленоград Производства 2005 года

Атомно-силовой микроскоп NTEGRA
Фирма NT-MDT, Зеленоград
Производства 2005 года

Слайд 4

Кантилеверы Базовый кантилевер NSG10 R ≈ 10 нм. “Вискерный” кантилевер NSG01_DLC/10

Кантилеверы

Базовый кантилевер NSG10
R ≈ 10 нм.

“Вискерный” кантилевер NSG01_DLC/10
R ≈ 1

нм

“Вискерный” кантилевер NSC05/5
R ≈ 1-2.5 нм

Слайд 5

Высокоориентированный графит HOPG “Вискерный” кантилевер NSG01_DLC/10 R ≈ 1 нм “Вискерный

Высокоориентированный графит HOPG

“Вискерный” кантилевер NSG01_DLC/10
R ≈ 1 нм

“Вискерный кантилевер NSC05/5
R

≈ 1-2.5 нм
Слайд 6

Эталонные решетки Достоверность результатов контролировалась эталонными решетками: TGZ1, TGZ2, TGZ3 –

Эталонные решетки
Достоверность результатов контролировалась эталонными решетками:
TGZ1, TGZ2, TGZ3 – прямоугольные профили,

h= 23, 112, 545 нм, соответственно;
TGQ1 – квадратные выступы, h= 19.5 нм;
TGT1 – конические пики, h= 400 нм, угол при вершине 30о
Слайд 7

Монокристалл кремния STEPP Разрешение межплоскостных ступенек 0,31 нм Высота одноатомной ступени

Монокристалл кремния STEPP

Разрешение межплоскостных ступенек 0,31 нм

Высота одноатомной ступени 0,314 нм
Средняя

шероховатость площади без одноатомных ступеней – 0,06 нм
Эталон является предельным для метода
Требуется совместная юстировка кантилевера, сканера и эталона
Фирма NT-MDT дала заключение – предельное разрешение получено
Слайд 8

Защитные покрытия на углеродные материалы Обеспечивается защита углеродных материалов в экстремальных

Защитные покрытия на углеродные материалы
Обеспечивается защита углеродных материалов в экстремальных условиях

при температурах выше 1400 °С
Авиакосмическая техника, цветная и черная металлургия
Слайд 9

Состояние теплозащиты после приземления Буран

Состояние теплозащиты после приземления

Буран

Слайд 10

Защитные покрытия на углеродные материалы нового поколения ZrB2 - MoSi2 –

Защитные покрытия на углеродные материалы нового поколения
ZrB2 - MoSi2 –

SiO2
1400 С, 30 мин
Зарождение и рост кристаллов
ZrB2+O2→ZrO2
MoSi2+O2→MoO3↑+SiO2
ZrO2 + SiO2 → ZrSiO4

Формирование покрытий в процессе входа изделия в эксплуатацию
(реакционный синтез)

Слайд 11

Слайд 12

Покрытия для защиты углеродных материалов системы TiB2-MoSi2 Газонепроницаемые стеклокристаллические слои Топография

Покрытия для защиты углеродных материалов
системы TiB2-MoSi2

Газонепроницаемые стеклокристаллические слои

Топография в

3D-формате

В режиме фазового контраста

TiB2 + MoSi2 + O2 → TiO2 + MoO3 ↑ + B2O3·SiO2

Слайд 13

Структура реакционно-образовавшихся кристаллов в стекломатрице ZrB2 + MoSi2 + O2 →

Структура реакционно-образовавшихся кристаллов в стекломатрице

ZrB2 + MoSi2 + O2 →


ZrO2 + MoO3 ↑+ B2O3·SiO2

TiB2 + O2 → TiO2 + B2O3

ZrO2

TiO2

Слайд 14

Последовательное формирование зеренной поверхности тонкого слоя стекломатрицы Фрактальность

Последовательное формирование зеренной поверхности тонкого слоя стекломатрицы

Фрактальность

Слайд 15

Окисление MoSi2 на воздухе Кратеры газовыделения MoSi2 + O2 → MoO3↑

Окисление MoSi2 на воздухе

Кратеры газовыделения

MoSi2 + O2 → MoO3↑ + SiO2

1400oC,

1 ч

Образование газонепроницаемой защитной силикатной пленки

Слайд 16

Исследование причин обрыва стекловолокна качественное волокно (свили) некачественное волокно, рвущееся вследствие

Исследование причин обрыва стекловолокна
качественное волокно
(свили)

некачественное волокно, рвущееся вследствие кристаллизации

(друзы кристаллов)
Диаметр волокон
~ 50 мкм
Слайд 17

Покрытия на основе силиката натрия (жидкие стекла) Пузырение как результат газовыделения (дегидратации)

Покрытия на основе силиката натрия (жидкие стекла)

Пузырение как результат газовыделения (дегидратации)

Слайд 18

Кратеры газовыделения (дегидратация) Правильная сферическая форма пузырей Покрытия на основе силиката натрия (жидкие стекла)

Кратеры газовыделения (дегидратация)
Правильная сферическая форма пузырей

Покрытия на основе силиката натрия (жидкие

стекла)
Слайд 19

Поверхностая кристаллизация при разных температурах 100oC 180oC Кристаллы гидрокарбонатов Кристаллы гидрокарбонатов

Поверхностая кристаллизация при разных температурах

100oC

180oC

Кристаллы гидрокарбонатов

Кристаллы гидрокарбонатов
и карбонаты

Покрытия на

основе силиката натрия (жидкие стекла)
Слайд 20

Поверхностная кристаллизация Изображения в 3D-формате Покрытия на основе силиката натрия (жидкие

Поверхностная кристаллизация

Изображения в 3D-формате

Покрытия на основе силиката натрия (жидкие стекла)

Кристаллы гидрокарбонатов

Кристаллы

гидрокарбоната
и карбонатов
Слайд 21

подложка (боросиликатное стекло) пленка (жидкое стекло) Поверхностная кристаллизация (карбонизация) Дегидратация при

подложка
(боросиликатное стекло)

пленка
(жидкое стекло)

Поверхностная кристаллизация
(карбонизация)

Дегидратация при 180oC

Покрытия на основе силиката натрия (жидкие

стекла)
Слайд 22

| | | | – O – Si – O –

| | | |
– O – Si – O –

Si – O + NaOH ⇒ [ – O – Si – O – H ] + [ – O – Si – O – Na ]
| | | |
Слайд 23

Слайд 24

Кристаллизация аморфных металлических сплавов Полная кристаллизация, Отжиг 400оС, 1 ч Зарождение

Кристаллизация аморфных металлических сплавов

Полная кристаллизация,
Отжиг 400оС, 1 ч

Зарождение и рост

кристаллитов,
Выдержка в течение 20 лет при комнатной температуре
Слайд 25

Аморфно-кристаллические пленки ZrO2 Мембраны для топливных элементов водородной энергетики Электронно-лучевое напыление Порошки ZrO2 получены гидротермаль-ным методом

Аморфно-кристаллические пленки ZrO2
Мембраны для топливных элементов водородной энергетики
Электронно-лучевое напыление
Порошки ZrO2

получены гидротермаль-ным методом
Слайд 26

Характерные участки огненно-полированной поверхности боросиликатных стекол Огненно-полированная поверхность стекла Структуры, образовавшиеся

Характерные участки огненно-полированной поверхности
боросиликатных стекол

Огненно-полированная поверхность стекла

Структуры, образовавшиеся в результате

примесной кристаллизации высотой в сотни нанометров
Слайд 27

Золь-гель пленки – источники диффузии бора в полупроводниковые материалы Введение органических

Золь-гель пленки – источники диффузии бора в полупроводниковые материалы

Введение органических модификаторов

в золи способствует изменению толщины и морфологии поверхности пленок.

Мезопористая боросиликатная пленка

Органо-неорганическая пленка

Слайд 28

Золь-гель пленки – источники диффузии редкоземельных элементов в полупроводниковые материалы Разрыхление

Золь-гель пленки – источники диффузии редкоземельных элементов в полупроводниковые материалы

Разрыхление силикатной

пленки, допированной гадолинием, в результате термообработки

Без термообработки

Термообработка при 500°С

Слайд 29

Введение углеродных нановолокон в золь-гель покрытия без использования поверхностно-активных веществ и

Введение углеродных нановолокон в золь-гель покрытия
без использования поверхностно-активных веществ и У/З

обработки

Шарообразные углубления, оставшиеся после клубков нановолокон

Слайд 30

Слайд 31

Электретные пленки оксида тантала Магнетронное реактивное напыление. Биоимплантанты Кратеры в результате бомбардировки высокоэнергетичными ионами аргона

Электретные пленки оксида тантала

Магнетронное реактивное напыление.
Биоимплантанты
Кратеры в результате бомбардировки высокоэнергетичными ионами

аргона
Слайд 32

Многослойные пленочные структуры Ta2O5 / Ta / Si Ta2O5 / Ti

Многослойные пленочные структуры

Ta2O5 / Ta / Si

Ta2O5 / Ti / Si

Влияние

подслоя на топографию пленки

Магнетронное напыление
Электретные свойства
Биоимплантаты

Слайд 33

Пленочные газовые сенсоры На основе CoOx На основе PrOx

Пленочные газовые сенсоры

На основе CoOx

На основе PrOx

Слайд 34

Кристаллы фианитов Грань поликристалла HfO2(Y2O3) Кристаллические блоки фианита CeOx(Y2O3)

Кристаллы фианитов

Грань поликристалла HfO2(Y2O3)

Кристаллические блоки фианита CeOx(Y2O3)

Слайд 35

Пленки Zr2Ln2O7±x, Ln=Nb,Pr,La Электронно-лучевое напыление Проводящие покрытия с электронной и протонной проводимостью, катализаторы

Пленки Zr2Ln2O7±x, Ln=Nb,Pr,La

Электронно-лучевое напыление

Проводящие покрытия с электронной и протонной проводимостью, катализаторы

Слайд 36

Пленки Zr2Ln2O7±x, Ln=Nb,Pr,La Видны отдельные частицы исходного материала H ≈7 0-100нм,

Пленки Zr2Ln2O7±x, Ln=Nb,Pr,La

Видны отдельные частицы исходного материала H ≈7 0-100нм, D

≈ 300-400нм

Структура аморфной пленки. Зерна H≈15-20 нм, D≈100-300 нм

Слайд 37

Микро- Ультра- Нано- Частицы BaTiO3 в силикатной связке Синтез в расплавах солей

Микро-

Ультра-

Нано-

Частицы BaTiO3 в силикатной связке

Синтез в расплавах солей

Слайд 38

Спекание порошков титаната висмута (нагрев с печью, отжиг 1000оС, 15 мин)

Спекание порошков титаната висмута (нагрев с печью, отжиг 1000оС, 15 мин)

Укрупнение частиц

в результате отжига от 100-200 нм до 2-3 мкм
Слайд 39

Влияние СВЧ обработки на топологию покрытия Без СВЧ обработки С использованием

Влияние СВЧ обработки на топологию покрытия

Без СВЧ обработки

С использованием СВЧ обработки

СВЧ

обработка понижает общую шероховатость поверхности покрытия
Слайд 40

Количественная характеризация шероховатости Влияние СВЧ обработки на шероховатость покрытий Обработки нет Обработка есть

Количественная характеризация шероховатости

Влияние СВЧ обработки на шероховатость покрытий

Обработки
нет

Обработка
есть

Слайд 41

Частицы Fe2O3 в силикатной матрице Магнитные и оптические свойства Размер частиц

Частицы Fe2O3 в силикатной матрице

Магнитные и оптические свойства
Размер частиц Fe2O3:
D =

0.3-0.4 мкм; h = 70 нм

Степень защиты денежных знаков и ценных бумаг

Плотная упаковка частиц Fe2O3, низкая шероховатость поверхности
Частицы прочно закреплены связкой, треки отсутствуют

Слайд 42

Частицы ZrO2 в силикатной матрице Цепочечные, ветвистые структуры из отдельных частиц

Частицы ZrO2 в силикатной матрице

Цепочечные, ветвистые структуры из отдельных частиц и

агломератов
Размер частиц ZrO2 ~ 75 мкм

Агломерация наночастиц

Слайд 43

Треки слабо закрепленных частиц Проблема фиксации частиц Оптическое изображение скана с кантилевером АСМ изображения треков

Треки слабо закрепленных частиц
Проблема фиксации частиц

Оптическое изображение
скана с кантилевером

АСМ

изображения треков
Слайд 44

Характеризация порошковых наноматериалов Проблема фиксации частиц Частицы ZrO2 закреплены силикатным золем

Характеризация порошковых наноматериалов Проблема фиксации частиц

Частицы ZrO2 закреплены силикатным золем

Размер частиц ZrO2

~ 75 нм
Размер частиц SiO2 ~ 7 нм