Содержание
- 2. Литография — это процесс формирования в актиночувствительном слое, нанесенном на поверхность подложек, рельефного рисунка, повторяющего топологию
- 3. Актиночувствительным называется слой, который изменяет свои свойства (растворимость, химическую стойкость) под действием актиничного излучения (например, ультрафиолетового
- 4. Литографические процессы позволяют: получать на поверхности окисленных полупроводниковых подложек свободные от слоя оксида области, задающие конфигурацию
- 5. Широкое применение литографии обусловлено следующими достоинствами: высокой воспроизводимостью результатов и гибкостью технологии, что позволяет легко переходить
- 6. Процесс литографии состоит из двух основных стадий: формирования необходимого рисунка элементов в слое актиночувствительного вещества (резиста)
- 7. В качестве диэлектрических слоев обычно служат пленки диоксида SiO2 и нитрида Si3N4 кремния, а межсоединений —
- 8. В зависимости от длины волны используемого излучения применяют следующие методы литографии: фотолитографию (длина волны актиничного ультрафиолетового
- 9. В зависимости от способа переноса изображения методы литографии могут быть контактными и проекционными. Проекционные методы могут
- 10. В зависимости от типа используемого резиста (негативный или позитивный) методы литографии по характеру переноса изображения делятся
- 12. Фотолитография — это сложный технологический процесс, основанный на использовании необратимых фотохимических явлений, происходящих в нанесенном на
- 13. Технологический процесс фотолитографии можно разделить на три стадии: формирование фоторезистивного слоя (обработка подложек для их очистки
- 14. Последовательность выполнения основных операций при фотолитографии излучения через фотошаблон
- 16. ПОЗИТИВНЫЕ И НЕГАТИВНЫЕ ФОТОРЕЗИСТЫ Фоторезисты — это светочувствительные материалы с изменяющейся по действием света растворимостью, устойчивые
- 17. Фоторезисты являются многокомпонентными мономерно-полимерными материалами, в состав которых входят: светочувствительные (поливинилциннаматы — в негативные фоторезисты и
- 18. В процессе фотолитографии фоторезисты выполняют две функции: с одной стороны, являясь светочувствительными материалами, они позволяют создавать
- 19. В зависимости от характера протекающих в фоторезисте фотохимических реакций определяется и тип фоторезиста — позитивный или
- 20. Позитивные фоторезисты, наоборот, передают один к одному рисунок фотошаблона, т.е. рельеф повторяет конфигурацию его непрозрачных элементов.
- 22. Скачать презентацию