Содержание
- 2. Лекция 23 Слайд 2 Принцип действия растрового электронного микроскопа основан на взаимодействии пучка электронов (зонда) с
- 3. Лекция 23 Слайд 3 Основные из них, представляющие интерес с точки зрения функционирования РЭМ, следующие: отраженные
- 4. Лекция 23 Слайд 4 Отраженные электроны. Они образуются при рассеивании первичных электронов на большие (до 90o)
- 5. Лекция 23 Слайд 5 Вторичные электроны. Первичные электроны, проникающие в образец, взаимодействуют с электронами внешних оболочек
- 6. Лекция 23 Слайд 6 Поглощенные электроны. При воздействии зонда часть генерируемых электронов остается в объеме образца.
- 7. Лекция 23 Слайд 7 Схема растрового электронного микроскопа Основные узлы: электронная пушка 1-3, электроннооптическая система 4-10,
- 8. Лекция 23 Слайд 8 РЭМ также имеет вакуумную камеру, которая служит для создания необходимого разряжения (~10-4
- 9. Лекция 23 Слайд 9 Пучок электронов от пушки проходит через три электромагнитные линзы 5, 6, 9.
- 10. Лекция 23 Слайд 10 Хроматическая аберрация возникает из-за различной скорости (т.е. длины волны) электронов и изменение
- 11. Лекция 23 Слайд 11 Возникновение астигматизма связано с нарушением магнитной или геометрической симметрии линзы. Устранение асимметрии
- 12. Лекция 23 Слайд 12 Таким образом, каждому элементу изображения – площади поверхности образца, накрываемой электронным зондом,
- 13. Лекция 23 Слайд 13 Увеличение РЭМ определяется как отношение линейного размера элемента изображения к линейному размеру
- 14. Лекция 23 Слайд 14 Детектором электронов в РЭМ служит сцинтилляционный детектор Эверхарда-Торнли На коллекторе 1 ~
- 16. Скачать презентацию