Оксид кремния и маскирующие слои на его основе

Сентябрь 9, 2022

Главная
Химия
Оксид кремния и маскирующие слои на его основе

Содержание

2. Применение пленок оксида кремния Межуровневая изоляция и защита, наносимая поверх проводящих слоев (SiO2 – высококачественный диэлектрик;
3. Получение SiO2 Si (тв) + О2 (газ) → Si02 (тв) Si (тв) + H2О (газ) →
4. Механизм окисления Первый вариант: пленка нарастает над исходной поверхностью кремния 1) диффузия атомов кремния через уже
5. Механизм окисления Слой кремния = d Тогда слой оксида кремния = 0,44 d
6. Механизм окисления
7. Базовая структура диоксида кремния Кристаллический кварц Аморфный кварц
8. Маскирование
9. Маскирование
10. Маскирование
11. Маскирование
12. Маскирование Метод реактивного ионного травления
13. Маскирование Метод обратной литографии Фоторезист SiO2 Si металл
15. Скачать презентацию

Слайд 2

Применение пленок оксида кремния
Межуровневая изоляция и защита, наносимая поверх проводящих слоев

(SiO2 – высококачественный диэлектрик; ε=3,9 , n=1,46 E пробоя ≥ 2∙107 В/см для слоев менее 200 нм)
Маскирование

Слайд 3

Получение SiO2
Si (тв) + О2 (газ) → Si02 (тв)
Si (тв) +

H2О (газ) → Si02 (тв) + 2 H2 (газ)

Слайд 4

Механизм окисления
Первый вариант:
пленка нарастает над исходной поверхностью кремния
1) диффузия атомов кремния

через уже имеющуюся пленку окисла к поверхности
2) адсорбция молекул кислорода поверхностью из газовой фазы
3) химическая реакция окисления

Второй вариант: пленка нарастает вглубь от исходной поверхности кремния
1) адсорбция кислорода поверхностью уже имеющегося окисла,
2) диффузия кислорода через окисел к еще не окисленному кремнию,
3) собственно окисление

Слайд 5

Механизм окисления
Слой кремния = d
Тогда слой оксида кремния = 0,44 d

Слайд 6

Механизм окисления

Слайд 7

Базовая структура диоксида кремния
Кристаллический кварц
Аморфный кварц

Слайд 8

Маскирование

Слайд 9

Маскирование

Слайд 10

Маскирование

Слайд 11

Маскирование

Слайд 12

Маскирование
Метод реактивного ионного травления

Слайд 13

Маскирование
Метод обратной литографии
Фоторезист
SiO2
Si
металл